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大日本网屏制造株式会社
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基板处理装置以及基板处理方法
在基板处理装置(1)中,通过由二氧化碳溶解单元(62)控制二氧化碳向纯水的溶解量,使除电液的电阻率成为目标电阻率。接着,通过除电液供给部(6)向基板(9)上供给电阻率比SPM液的电阻率大的除电液,使除电液充满基板(9)的...
宫城雅宏
藤川和宪
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基板处理方法以及基板处理装置
本发明提供一种不使用用于形成凝固体的冷却气体,就能够良好地对基板进行清洗处理的基板处理方法以及基板处理装置。向基板(W)供给作为凝固对象液体的过冷却状态的DIW,借助落在基板(W)而产生的冲击来形成DIW的凝固体。由此,...
宫胜彦
藤原直澄
文献传递
基板处理方法以及基板处理装置
本发明提供一种基板处理方法以及采用该基板处理方法的基板处理装置。基板处理方法包括:执行扫描工序(S3),一边从喷嘴喷出蚀刻液,一边以使蚀刻液着落于处于旋转状态的基板的着液位置从基板的主面周缘部向基板的主面中央部移动的方式...
藤井达也
远藤亨
电池的制造方法、电池、车辆以及电子设备
本发明提供使用固体电解质的薄且电化学特性优良的电池、电池的制造方法、车辆以及电子设备。通过以喷嘴扫描法涂敷包含负极活性物质材料的涂敷液,形成从大致平坦的负极集电体(11)的表面突出的线条状图案(121)。接着,通过例如旋...
松田健
真田雅和
平松贤太
文献传递
基板处理装置以及基板处理方法
本发明提供在不使向基板供给的保护液的流量增大的情况下就能够抑制基板损伤的基板处理装置以及基板处理方法。基板处理装置具有:喷嘴移动单元,一边将液滴喷嘴和保护液喷嘴的位置关系保持为恒定,一边使液滴喷嘴及保护液喷嘴移动,以使喷...
宗德皓太
田中孝佳
佐藤雅伸
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基板搬运装置及基板处理装置
本发明的目的是提供不增大装置尺寸并能够在途中有效地改变基板的搬运速度的基板搬运装置及基板处理装置。在越过串联配置的两个搬运机构的边界搬运基板时,在包含有基板(90)在该边界上移动而被交接的交接期间(时间T15~时间T16...
原田明
文献传递
剥离装置以及剥离方法
本发明涉及剥离装置以及剥离方法。沿着剥离进行方向即+Y方向配置多个吸附单元(51~54)。由最上游侧的第一吸附单元(51)吸附保持基板(SB)的端部来提起,并且通过使剥离辊(340)一边与基板(SB)抵接一边向剥离进行方...
上野美佳
川越理史
增市干雄
上野博之
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印刷装置以及印刷方法
本发明提供一种印刷技术,通过对担载涂敷层的橡皮布等担载体的一部分加压使该担载体的一部分与版抵接来图案成形涂敷层以形成图案层,然后对担载有该图案层的担载体的一部分加压使担载有该图案层的担载体的一部分与基板抵接来将图案层转印...
古村智之
增市干雄
川越理史
田中哲夫
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干燥装置及热处理系统
通过涂敷处理形成有涂敷膜的基体材料(5)被从预热部(20)向干燥部(40)搬运并被干燥。预热部(20)不直接从形成有刚涂敷不久的涂敷膜的基体材料(5)的上方吹送热风,而通过放射红外线及从下方间接地吹送热风,来对涂敷膜进行...
山越润一
田中岩
市边伸夫
神田宽行
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基板处理方法以及基板处理装置
本发明涉及基板处理方法以及基板处理装置。向基板的表面供给含有能够溶解氟化氢的溶媒物质的溶媒蒸气。由此,通过含有溶媒物质的液膜覆盖基板的表面。然后,向被含有溶媒物质的液膜覆盖的基板的表面供给含有氟化氢的蚀刻蒸气。由此,对基...
山口贵大
桥诘彰夫
赤西勇哉
太田乔
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