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上海正帆半导体设备有限公司

作品数：58 被引量：0H指数：0
相关机构：上海正帆科技有限公司上海正帆科技股份有限公司江苏正帆半导体设备有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信医药卫生动力工程及工程热物理更多>>

合作机构

文献类型

  • 58篇中文专利

领域

  • 4篇自动化与计算...
  • 2篇电子电信
  • 1篇石油与天然气...
  • 1篇动力工程及工...
  • 1篇医药卫生

主题

  • 10篇气体
  • 8篇液位
  • 8篇供气
  • 6篇液化气体
  • 6篇液位计
  • 6篇气动
  • 6篇气体输送
  • 6篇钢瓶
  • 5篇阀门
  • 5篇高纯
  • 4篇蚀刻
  • 4篇蚀刻液
  • 4篇酸性蚀刻液
  • 4篇汽化
  • 4篇介质
  • 4篇控制装置
  • 4篇鼓泡
  • 3篇断电
  • 3篇多晶
  • 3篇压力控制

机构

  • 58篇上海正帆半导...
  • 36篇上海正帆科技...
  • 22篇上海正帆科技...
  • 7篇江苏正帆半导...
  • 4篇上海交通大学
  • 2篇上海亿欣电子...
  • 1篇合肥正帆电子...

作者

  • 4篇严俊

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2023
  • 2篇2021
  • 1篇2020
  • 11篇2019
  • 5篇2018
  • 1篇2017
  • 1篇2015
  • 5篇2014
  • 6篇2013
  • 9篇2012
  • 15篇2011
共 58 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种气动阀控制装置
本实用新型实施例公开了一种气动阀控制装置，包括电磁阀、气动阀以及气体管路，还包括手动阀，所述电磁阀包括第一常开触点和第一常闭触点，所述第一常闭触点与进气端连接，所述电磁阀的输出端与所述气动阀连接；所述手动阀包括第二常开触...
刘华生于锋
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限泄气缸式自复铰链结构
本实用新型公开了一种限泄气缸式自复铰链结构，包括铰链固定件及门板固定件，铰链固定件与门板固定件的一侧通过第一连接杆连接，铰链固定件与门板固定件的另一侧通过气缸连接，气缸包括活动套筒构成的固定端及可插入活动套筒的活塞杆构成...
冯君燕
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一种液态源的汽化装置
本实用新型公开了一种液态源的汽化装置，其特征在于，汽化装置上还设有液位计及加热器，所述液位计包括液位计套管，液位计套管内设有液位计内芯，液位计内芯的上端从液位计套管中露出，液位计套管的上端密封，浮球通过卡簧套于液位计套管...
李东升龚小雷缪南山张敏
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晶体硅太阳能电池片制绒液的自动循环补液系统及方法
本发明涉及一种晶体硅太阳能电池片制绒液的自动循环补液系统及方法，其输液管路(1)与储液箱(2)相连，储液箱(2)、泵(5)、至少3个反应槽(8)、储液箱(2)依次相连形成循环回路，所述的储液箱(2)依次通过泵(5)、手动...
严俊李敏
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一种气柜控制系统
本实用新型实施例公开了一种气柜控制系统，包括：主PLC，用于在工作状态下执行供气控制功能；辅PLC，与所述主PLC相连，用于在跟随运行状态下监测到所述主PLC故障，则从所述跟随运行状态切换到临时运行状态，且用于在所述临时...
李俊芳于锋
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一种U形带隔板的液气分离器及其使用方法
本发明涉及一种U形带隔板的液气分离器及其使用方法，装置包括筒体(3)、隔板(2)、出口管路(7)、进液口(1)和排气口(8)，所述的隔板(2)竖直安装在筒体(3)的中部将筒体(3)的下半部分隔成大小相等的左腔和右腔，所述...
靳化龙
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一种尾气缸自动除垢装置
本实用新型涉及半导体技术领域，公开一种尾气缸自动除垢装置，尾气缸内设有中空腔室，缸壁上设有与中空腔室连通的尾气进口和排出口，缸壁上还设有与中空腔室连通的进入口，还包括：刮盘，位于中空腔室内，且刮盘周向外壁抵接于中空腔室内...
杨帆
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一种酸性蚀刻液的处理方法
本发明涉及一种酸性蚀刻液的处理方法，包括：(1)用酸性混合溶液对硅片进行蚀刻处理，将蚀刻处理后的混合溶液稀释，对混合溶液中的氢氟酸和/或醋酸通过非水中和滴定法进行定量分析，对混合溶液中的硝酸通过硝酸根电极进行定量分析，得...
顾顺超管世兵严俊
一种大流量高纯液化气体的输送方法
本发明公开了一种大流量高纯液化气体的输送方法，包括液化气体储存模块、增压模块、液化气体输送管道、蒸发器和调压模块，所述方法依次包括如下步骤：从液化气体储存模块引出液化气体，使其进入增压模块；由增压模块打出液化气体，并通过...
李东升张敏龚小雷
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液态源汽化装置及其汽化方法
本发明公开了一种液态源汽化装置及其汽化方法，所述方法包括如下步骤：a)采用内部电加热或外部加热的方式，使液态源在汽化容器中实现蒸发汽化；b)使用外部加热使载气进入步骤a)中的汽化容器携带气体鼓泡，鼓出的气体中掺杂少量液态...
李东升龚小雷张敏
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