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麦斯克电子材料有限公司

作品数：221 被引量：22H指数：3
相关机构：西安交通大学国家海洋局中南大学更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺自动化与计算机技术文化科学更多>>

合作机构

文献类型

  • 193篇专利
  • 17篇会议论文
  • 5篇期刊文章
  • 1篇科技成果

领域

  • 31篇电子电信
  • 9篇金属学及工艺
  • 7篇自动化与计算...
  • 5篇文化科学
  • 3篇化学工程
  • 3篇机械工程
  • 3篇建筑科学
  • 2篇轻工技术与工...
  • 1篇天文地球
  • 1篇矿业工程
  • 1篇交通运输工程

主题

  • 74篇单晶
  • 73篇硅片
  • 33篇单晶炉
  • 29篇单晶硅
  • 27篇抛光片
  • 24篇抛光
  • 21篇片盒
  • 19篇硅单晶
  • 18篇半导体
  • 14篇硅抛光片
  • 13篇工装
  • 11篇晶片
  • 10篇体硅
  • 10篇抛光机
  • 10篇硅晶
  • 10篇半导体硅
  • 8篇单晶硅片
  • 8篇清洗机
  • 7篇螺丝
  • 6篇倒片

机构

  • 216篇麦斯克电子材...
  • 1篇西安交通大学
  • 1篇中南大学
  • 1篇国家海洋局
  • 1篇洛阳德晶智能...

作者

  • 1篇曾凡光
  • 1篇朱长纯
  • 1篇黄宝能
  • 1篇刘兴辉

传媒

  • 2篇2004年中...
  • 1篇半导体技术
  • 1篇水处理技术
  • 1篇功能材料
  • 1篇科技风
  • 1篇中国集成电路
  • 1篇2008年(...
  • 1篇第三届高新技...
  • 1篇第十届中国科...

年份

  • 47篇2020
  • 28篇2019
  • 14篇2018
  • 17篇2017
  • 15篇2016
  • 72篇2015
  • 1篇2014
  • 1篇2011
  • 2篇2009
  • 3篇2008
  • 2篇2006
  • 7篇2005
  • 7篇2004
共 221 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种硅片背面软损伤加工过程中用粉尘油污收集装置
一种硅片背面软损伤加工过程中用粉尘油污收集装置，涉及半导体行业生产技术领域，包括长方体形状顶部开口的收集器外壳，收集器外壳两侧内壁上分别设置一块具有4层滑道的四氟板，收集器外壳内还设有7块头尾联接的可移动滑板，可移动滑板...
郭栋梁焦二强张明亮李建刚马龙峰
文献传递
一种用于硅片激光刻字的传送定位装置
一种用于硅片激光刻字的传送定位装置，包括用于承接片盒中输出硅片的传送台、定位台及升降台，定位台的上表面设有呈一定夹角的参考面挡板和初步定位挡板，定位台上设有若干贯通其上下表面的气孔；该装置还包括控制器和真空发生器，定位台...
司鹏辉韩子萌彭套王松涛王铮
文献传递
一种直拉单晶炉挥发物清扫装置
本实用新型公开一种直拉单晶炉挥发物清扫装置，包括支架和设置在支架上的过滤腔，过滤腔的一侧设有进气口，另一侧设有排气口，过滤腔的底部依次连接锥形导流筒和收尘筒；所述过滤腔的内部水平设置有多个滤芯，滤芯的出气口处设有脉冲反吹...
刘要普邓德翼张明亮令狐铁兵李中军
文献传递
一种防止单晶硅片片盒错误放置的工装
一种防止单晶硅片片盒错误放置的工装，该单晶硅片片盒的U型面为正确的放置端，U型面上设置有U型凹槽和长方形凹槽Ⅰ，所述工装包括底座基板，底座基板上设有U型凸起和长方形凸起，且U型凸起和长方形凸起同时插入到U型凹槽和长方形凹...
高烨李宏儒赵文龙胡晓亮崔小换郭光灿卓元
文献传递
一种用于将硅片在片盒间正向或反向倒片的工装
一种用于将硅片在片盒间正向或反向倒片的工装，包括倒片工作台、分别设置在倒片工作台上方和下方的硅片推杆和滑轨，倒片工作台上表面的中部垂直于滑轨平行设置有两条凸起筋，凸起筋上分布有若干卡紧片盒的定位槽，硅片推杆通过在滑轨上滑...
赵文龙李宏儒胡晓亮高烨张磊史舸张明亮郭光灿
文献传递
一种单晶硅片抛光液槽用可调节地脚
一种单晶硅片抛光液槽用可调节地脚，包括与抛光液槽底部卡接的卡接部和与卡接部通过螺纹连接的旋转调整部，卡接部为带有螺帽的螺栓，在螺帽的顶面设置有与抛光液槽底部的横向筋板和纵向筋板相配合卡接的V形槽和U形槽；旋转调整部为圆台...
张磊范强卓元宋松伟高战峰
文献传递
使用蓝膜保护硅片表面部分二氧化硅膜的方法
使用蓝膜保护硅片表面部分二氧化硅膜的方法，通过使用丙烯酸粘着剂蓝膜作为保护二氧化硅层用蓝膜，然后在多余的二氧化硅层经氟化氢腐蚀去除后浸入半导体清洗常用的氨水溶液内，经过一定时间后蓝膜自动被剥离硅片表面。该剥离蓝膜方法操作...
苗利刚史舸邓德翼王文卫焦二强李战国
一种十字形加热器拆卸装置
一种十字形加热器拆卸装置，适用于硅单晶生产中加热器的拆卸。本实用新型所述拆卸装置主要技术特征是十字形支架（1）的四个支架上分别设有滑动仓（5）、滑动导向槽（7）和定位槽（8），滑动仓（5）用于盛放滑动块（9），滑动块（9...
王新令狐铁兵刘要普李京涛方丽霞史舸
文献传递
钴钝化多孔硅的制备及其场发射特性研究被引量：4
2005年
采用化学染色腐蚀法在Co(NO3)2 和HF酸组成的腐蚀液中制备了钴钝化多孔硅,其表面形貌由垂直于表面分布的尺度为0.5~1.5μm 的硅尖组成,部分硅尖顶端还有0.1~0.5μm的圆形孔洞,硅尖的面密度约为1.0×108 个/cm2,多孔硅层厚度约为2μm。XPS分析结果表明,钴原子仅存在于多孔硅表面非常薄的一层内。其场发射具有较好的可靠性和可重复性,开启场强一般为2.3V/μm 左右,场强为5.4V/μm时,亮点均匀而且密集,发射电流密度达到30μA/cm2 左右。
曾凡光刘兴辉朱长纯王文卫
关键词：钴多孔硅场发射
一种硅晶片加工用砂浆搅拌装置
本实用新型提供了一种硅晶片加工用砂浆搅拌装置，包括电机、搅拌叶、桶体、冲洗机构和连接机构，桶体的顶面预留搅拌口、进液口、进砂口和供冲洗水接入的冲洗水接口，桶体的顶面还设有多个吊装板，吊装板的一端连接于桶体顶面，吊装板的另...
王晓飞乔光辉张亮
文献传递
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