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上海申和热磁电子有限公司

作品数：272 被引量：13H指数：2
相关机构：杭州中芯晶圆半导体股份有限公司上海汉虹精密机械有限公司中国科学院更多>>
相关领域：化学工程电子电信金属学及工艺文化科学更多>>

合作机构

文献类型

  • 261篇专利
  • 7篇期刊文章
  • 1篇会议论文
  • 1篇标准

领域

  • 11篇化学工程
  • 8篇电子电信
  • 5篇金属学及工艺
  • 4篇自动化与计算...
  • 4篇文化科学
  • 3篇电气工程
  • 3篇环境科学与工...
  • 2篇经济管理
  • 2篇动力工程及工...
  • 2篇一般工业技术
  • 2篇历史地理
  • 1篇石油与天然气...
  • 1篇机械工程
  • 1篇建筑科学
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇医药卫生
  • 1篇理学

主题

  • 56篇硅片
  • 54篇陶瓷
  • 39篇基板
  • 38篇单晶
  • 26篇铜
  • 21篇抛光
  • 20篇半导体
  • 16篇单晶硅
  • 14篇单晶炉
  • 14篇陶瓷基
  • 14篇铜箔
  • 13篇陶瓷基板
  • 12篇瓷片
  • 11篇污染
  • 11篇晶圆
  • 10篇多晶
  • 9篇翘曲
  • 8篇预氧化
  • 7篇阳极
  • 6篇多晶硅

机构

  • 270篇上海申和热磁...
  • 16篇杭州中芯晶圆...
  • 12篇上海汉虹精密...
  • 11篇中国科学院
  • 9篇江苏富乐德半...
  • 4篇上海大学
  • 1篇上海晶盟硅材...
  • 1篇上海新傲科技...

作者

  • 5篇李小亚
  • 4篇鲁端平
  • 4篇谢建军
  • 3篇施鹰
  • 2篇陈立东
  • 2篇章蕾
  • 2篇王亚黎
  • 1篇林德宝
  • 1篇王宇
  • 1篇李德善
  • 1篇林国安
  • 1篇姚波

传媒

  • 2篇电镀与环保
  • 1篇洁净与空调技...
  • 1篇硅酸盐学报
  • 1篇机械工程材料
  • 1篇陶瓷
  • 1篇才智

年份

  • 2篇2022
  • 9篇2021
  • 21篇2020
  • 36篇2019
  • 28篇2018
  • 26篇2017
  • 21篇2016
  • 14篇2015
  • 25篇2014
  • 28篇2013
  • 15篇2012
  • 21篇2011
  • 16篇2010
  • 3篇2009
  • 1篇2008
  • 1篇2005
  • 3篇2003
共 272 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种液晶面板玻璃载运车
本实用新型提供一种液晶面板玻璃载运车，由1个上侧铝板、1个下侧铝板、1个左侧零件、1个右侧零件、1个中间零件、新弹片、螺丝组成，与现有玻璃载运车相比，本实用新型所述玻璃载运车原料成本降低一半，达到使用寿命后只需要更换上下...
刘攀峰贺贤汉
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太阳能硅棒粘接工装
本实用新型太阳能硅棒粘接工装，包括：固定板，在所述固定的上端设有气缸；支撑架，所述支撑架的一端设置在所述固定板的两端；底座，所述底座与所述固定板间隔设置，所述支撑架的另一端与所述底座的两端连接；以及支撑脚，所述支撑脚设置...
陈志忠贺贤汉
文献传递
一种有效减少测量硅片厚度时造成金属污染的硅片托盘
本实用新型涉及半导体加工技术领域。一种有效减少测量硅片厚度时造成金属污染的硅片托盘，包括一硅片托盘本体，硅片托盘本体上开设有至少三个开口向上的球状凹槽，球状凹槽内嵌设有陶瓷制成的滚珠，滚珠的顶部外凸于球状凹槽；滚珠的外壁...
朱强健贺贤汉
文献传递
一种调整中抛液稀释比改善抛光片面粗的方法
本发明提供一种调整中抛液稀释比改善抛光片面粗的方法，将中抛液稀释比比例提升，在不降低产量的情况下，对抛光片面粗糙度取得了较大改善，同时提高中抛液稀释比节省物料使用，也为公司降成本做出不小贡献。
汪明耀贺贤汉尚散散
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半导体制冷晶体直接镀镍的研究被引量：1
2003年
陈良杰
关键词：化学镀镍温差
一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法及装置
本发明提供一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法，包括：步骤一，在储备槽A加入室温下的混酸280L‑350L；步骤二，通过添加氢氟酸15L‑30L、硝酸60L‑90L、醋酸30L‑60L，对储备槽A中的混酸进行浓度调节，将混酸...
刘玉龙贺贤汉朱强健
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一种铝合金阳极氧化之无灰纯水封孔方法
本发明提供一种铝合金阳极氧化之无灰纯水封孔方法，包括如下步骤：步骤一、待封孔槽的纯水加到指定液位后，根据计算溶液体积，按照0.0045‑0.0055克/升的比例加入磷酸三铵；步骤二、测量槽液PH值，并用冰醋酸将槽液的PH...
高小彬贺贤汉
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晶棒装卸装置
晶棒装卸装置，包括堆高机，堆高机设置一控制台，所述堆高机连接一晶棒夹取装置，晶棒夹取装置包括：总支撑座设置与堆高机连接的接口；一使晶棒旋转的马达设置于总支撑座上，马达连接一控制晶棒翻转的蜗轮蜗杆减速器，蜗轮蜗杆减速器通过...
夏孝平贺贤汉
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一种利用常温HF酸去除抛光硅片表面污染的方法
本发明提供了一种利用常温HF酸去除抛光硅片表面污染的方法，在标准清洗清洗机台前增加两槽，即药液槽和纯水槽；将49％‑51％氢氟酸原液的氢氟酸原液按照药液槽体体积的0.8％‑1.2％的比例称量好；将表面活性剂按照药液槽体体...
金文明贺贤汉温海峰
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改善晶体内部微小杂质析出的热处理工艺
本发明改善晶体内部微小杂质析出的热处理工艺，包括如下步骤：第一步，待热处理炉内的温度上升稳定在1000℃，然后将硅片以150毫米/分钟～250毫米/分钟的速度推入热处理炉内；第二步，运行热处理工艺程序，当温度达到900℃...
宋玮贺贤汉千津井
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