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北京华卓精科科技股份有限公司

作品数：547 被引量：0H指数：0
相关机构：清华大学北京燕东微电子科技有限公司河北工程大学更多>>
发文基金：河北省社会科学发展研究课题更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信文化科学金属学及工艺更多>>

合作机构

文献类型

  • 542篇专利
  • 5篇期刊文章

领域

  • 89篇自动化与计算...
  • 61篇电子电信
  • 40篇文化科学
  • 29篇金属学及工艺
  • 20篇机械工程
  • 9篇理学
  • 8篇经济管理
  • 7篇建筑科学
  • 7篇交通运输工程
  • 6篇化学工程
  • 6篇电气工程
  • 6篇环境科学与工...
  • 5篇医药卫生
  • 4篇一般工业技术
  • 1篇矿业工程
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇农业科学

主题

  • 88篇晶圆
  • 86篇激光
  • 71篇光刻
  • 70篇半导体
  • 56篇电机
  • 47篇光栅
  • 45篇静电
  • 43篇键合
  • 43篇工件台
  • 43篇测量系统
  • 40篇卡盘
  • 31篇激光器
  • 30篇平面电机
  • 30篇感器
  • 30篇传感
  • 30篇传感器
  • 29篇光刻机
  • 28篇位移测量系统
  • 27篇硅片
  • 23篇外差

机构

  • 547篇北京华卓精科...
  • 101篇清华大学
  • 2篇北京燕东微电...
  • 1篇北方工业大学
  • 1篇河北工程大学
  • 1篇沧州师范学院
  • 1篇中国航发北京...
  • 1篇冀凯河北机电...

作者

  • 42篇朱煜
  • 28篇张鸣
  • 12篇王磊杰
  • 10篇杨开明
  • 3篇胡金春
  • 2篇胡楚雄
  • 2篇李鑫
  • 1篇刘召
  • 1篇成荣

传媒

  • 1篇工具技术
  • 1篇冶金设备
  • 1篇系统仿真学报
  • 1篇湖北农机化
  • 1篇移动信息

年份

  • 86篇2024
  • 109篇2023
  • 134篇2022
  • 56篇2021
  • 58篇2020
  • 21篇2019
  • 23篇2018
  • 26篇2017
  • 33篇2016
  • 1篇2015
共 547 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
运动机构
本实用新型提供了一种运动机构，包括：底座；运动台，位于底座的上方，运动台能够在底座的上方运动；限位结构，设置在运动台上，限位结构能够将运动台悬浮在底座上方，并限定运动台在底座上方的移动轨迹；驱动组件，设置在底座上，且与运...
刘俊丰姜保彧张豹
一种直线导轨位移系统的摩擦力补偿方法及补偿装置
本发明提供一种直线导轨位移系统的摩擦力补偿方法及补偿装置，方法包括：建立摩擦力‑速度模型，采集动平台运行速度和驱动力，并从中筛选出匀速运动段的速度及驱动力，并将所述驱动力作为匀速段的摩擦力；通过压缩因子粒子群算法对所述摩...
韩昱范玉娇张翔宇朱庆娜
读数头检修方法、框架标定工装及读数头标定工装
本发明涉及光栅测量领域，具体而言，涉及一种读数头检修方法、框架标定工装及读数头标定工装。读数头检修方法包括：获取各个读数头的第一参数，根据第一参数，判断读数头是否损坏；若判断结果为否，则获取读数头的第二参数，若第二参数不...
付大为焦健解昊高立冬
基于光栅尺和二维PSD的平面电机动子位置测量系统及方法
基于光栅尺和二维PSD的平面电机动子位置测量系统及方法，属于半导体装备技术领域。本发明采用的测量系统包括一个X方向光栅尺，一个Y方向光栅尺以及三个激光头和三个二维PSD传感器。其中X方向光栅尺和Y方向光栅尺分别对平面电机...
朱煜杨开明黄伟才李鑫成荣胡金春
水平电机磁钢组件粘接工装及方法
本发明提供一种水平电机磁钢组件粘接工装及方法，涉及电机生产制造领域。该粘接工装包括基体、第一固定件、(N‑1)个占位件、(M×N)个推板、(M×N)个第一压紧件以及M个第二压紧件，基体设置有容纳腔，磁钢粘接于容纳腔内的铁...
田丽范国军赵彦坡杨连钊
一种晶圆升降装置
本实用新型提供一种晶圆升降装置，包括支撑架和驱动部件，支撑架固设有支撑销，支撑销具有多个且间隔设置，用于支撑晶圆；驱动部件包括缸体，缸体内设有弹性伸缩管，弹性伸缩管的一端密封连接于缸体的底面且连通外界能量源，另一端密封连...
郭继伟王妍智
六自由度驱动装置及工件台
本实用新型涉及半导体设备技术领域，提供一种六自由度驱动装置及工件台，该六自由度驱动装置可以应用于驱动目标机构运动，包括：多个第一电机和多个第二电机；由于第一电机和第二电机中至少一个为磁阻电机，不仅可以驱动目标机构实现六自...
王利臣王妍智
一种管路定型装置
本实用新型公开一种管路定型装置，包括：第一异型管路定型部，包括第一接合曲面，沿第一接合曲面设置有与异型管路的延伸弯折方向一致的第一预埋槽；第二异型管路定型部，包括第二接合曲面，沿第二接合曲面设置有与异型管路的延伸弯折方向...
吴品张利胡海赵彦坡
文献传递
一种伺服调整系统
本实用新型提供一种伺服调整系统，涉及半导体制造设备领域。该伺服调整系统，包括自下而上依次设置的基板、旋转动板和升降动板，基板上设置有旋转伺服机构，旋转伺服机构能够调整旋转动板的角度；旋转动板上设置有升降伺服机构，升降动板...
郑耀青邱会峰
键合强度检测装置以及检测平台
本申请提供了一种键合强度检测装置以及检测平台。该键合强度检测装置包括：底板，其用于支撑晶圆托架；晶圆托架，其用于支撑卡盘；卡盘，其用于固定晶圆检测样品；以及，调平模块，其用于使卡盘的底面与底板平行，其包括固定在晶圆托架上...
张豹邢浩陶绪
文献传递
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