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三河建华高科有限责任公司
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被引量:3
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多线切割设备锥线轮机构
本发明公开了多线切割设备锥线轮机构,其包括传动部分,液压调节部分,线轮部分;传动部分包括轴承座、主轴、圆锥滚子轴承,主轴由一对圆锥滚子轴承背对背支撑固定在底座上的轴承座上;液压调节部分包括油缸缸体、油缸静活塞,油缸静活塞...
陈学森
付纯鹤
袁立伟
文献传递
一种工装夹具
本实用新型公开了一种工装夹具,本实用新型涉及夹具器械技术领域。包括操作台,操作台上设置有工作座,工作的上端设置有夹持机构,夹持机构包括移动底板、伸缩杆、安装板、夹持座、支撑杆、连接杆、夹持板、压力传感器、卡块、双向螺杆和...
黄武勇
王超
杨健
探针测试台X-Y工作台电机控制
被引量:1
2021年
探针测试台测试晶圆效率的高低与步进精度、工作台控制的方法、稳定性及快捷性密切相关。介绍了探针测试台X-Y工作台常见类型和电机控制的一般原则,并提供了解决方案。
周豪
关键词:
X-Y工作台
电机驱动
步进电机
伺服电机
一种适用于接近接触式自动曝光机的照明系统
本发明公开了一种适用于接近接触式自动曝光机的照明系统,包括镜头,所述镜头的内侧壁安装有半透半反镜,所述镜头的上表面安装有CCD相机,所述镜头的外侧壁安装有同轴照明灯,所述镜头的外侧壁且位于所述同轴照明灯的下方滑动连接有调...
王超
刘威
毛善高
刘妍
贾熔泽
聚四氟乙烯薄壁伸缩型风囊的加工方法
本发明公开了一种聚四氟乙烯薄壁伸缩型风囊的加工方法,具体包括以下步骤:首先,将聚四氟乙烯棒料粗车成风囊坯体;其次将粗车后的风囊坯体放入加热箱内加热去除加工应力;然后采用芯轴法兰盘支撑内孔精车风囊外环槽,再用开口套夹具扣合...
张红强
王少强
韩凤
文献传递
一种适用于叠放晶圆的高效上料结构
本发明涉及晶圆上料技术领域,具体地说,涉及一种适用于叠放晶圆的高效上料结构。其包括传送组件以及安装在传送组件一侧的存放组件,传送组件包括操作台,操作台侧面设置有L型板,L型板顶端开设有限位孔,存放组件包括支架,支架顶端侧...
段成龙
文献传递
适用于四轴加工中心的通用铣斜面夹具
本实用新型涉及夹具装置技术领域,公开了适用于四轴加工中心的通用铣斜面夹具,包括基座和底板,所述基座的上端中部等距横向设置有若干个滑槽,所述滑槽的上端中部左侧滑动连接在固定座的下端。本实用新型中,首先将工件放置于角度调节板...
郭忠华
王超
刘妍
邢莹
一种半导体设备用晶圆运输机械手
本发明公开了一种半导体设备用晶圆运输机械手,包括机械手气动θ向旋转机构,所述机械手气动θ向旋转机构包括底座,所述底座上连接设有导轨定位移动模组,所述导轨上连接设有转轴模组,所述机械手气动θ向旋转机构上连接设有机械手电动Z...
毛善高
芦刚
李伯汉
多线切割机主辊加工方法
本发明公开了一种多线切割机主辊加工方法,先分体加工轴套和轴头,再组合后焊接成一个主辊整体,具体包括粗车轴套、轴套调质处理、半精车轴套、轴套的钻攻螺孔、安装工装转接头、粗车轴头、轴头调质处理、半精车轴头、轴头的钻攻螺孔、配...
张红强
杜斌伟
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郭忠华
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王超
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刘妍
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一种晶圆传输机器人的旋转机构
本发明公开了一种晶圆传输机器人的旋转机构,包括支撑底座和工作箱体,所述工作箱体的侧面固定安装有控制器,所述工作箱体的上表面固定安装有上固定套,所述上固定套的表面安装有角度尺,所述上固定套的内部滑动连接有转动架,所述转动架...
王超
邢莹
杨健
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