2024年11月28日
星期四
|
欢迎来到维普•公共文化服务平台
登录
|
进入后台
[
APP下载]
[
APP下载]
扫一扫,既下载
全民阅读
职业技能
专家智库
参考咨询
您的位置:
专家智库
>
>
福建省晋华集成电路有限公司
作品数:
1,101
被引量:9
H指数:2
相关机构:
联华电子股份有限公司
福州大学
东北农业大学
更多>>
发文基金:
国家自然科学基金
福建省自然科学基金
教育部人文社会科学研究基金
更多>>
相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
文化科学
经济管理
更多>>
合作机构
联华电子股份有限公司
福州大学
东北农业大学
苏州微著设备诊断技术有限公司
西安交通大学
发表作品
相关人物
相关机构
所获资助
研究领域
题名
作者
机构
关键词
文摘
任意字段
作者
题名
机构
关键词
文摘
任意字段
在结果中检索
文献类型
1,094篇
专利
6篇
期刊文章
领域
246篇
电子电信
170篇
自动化与计算...
66篇
文化科学
18篇
经济管理
16篇
电气工程
10篇
理学
7篇
金属学及工艺
7篇
一般工业技术
6篇
化学工程
4篇
轻工技术与工...
4篇
交通运输工程
3篇
天文地球
3篇
建筑科学
2篇
医药卫生
1篇
矿业工程
1篇
动力工程及工...
1篇
环境科学与工...
1篇
农业科学
主题
700篇
半导体
272篇
基底
235篇
存储器
230篇
衬底
210篇
半导体器件
169篇
导体
168篇
半导体结构
165篇
栅极
147篇
图案
147篇
插塞
145篇
制作方法
136篇
源区
125篇
掩模
115篇
栅极结构
114篇
半导体元件
112篇
存储装置
99篇
蚀刻
97篇
绝缘
84篇
介质层
82篇
半导体装置
机构
1,100篇
福建省晋华集...
382篇
联华电子股份...
1篇
福州大学
1篇
东北农业大学
1篇
西安交通大学
1篇
苏州微著设备...
作者
1篇
王琇峰
1篇
王立军
1篇
马力
传媒
1篇
设备管理与维...
1篇
数学的实践与...
1篇
福州大学学报...
1篇
清洗世界
1篇
中小企业管理...
1篇
首席财务官
年份
99篇
2024
151篇
2023
227篇
2022
206篇
2021
193篇
2020
135篇
2019
89篇
2018
共
1,101
条 记 录,以下是 1-10
全选
清除
导出
排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效排序
一种半导体存储器件及其制作方法
本发明实施例公开了一种半导体存储器件及其制作方法,半导体存储器件包括衬底,衬底内包括多个有源区及相邻两个有源区之间的浅沟槽隔离;多条位线,相互分隔地设置在衬底上;位线触点,设置在位线下方并部分伸入有源区;间隙壁,设置在位...
张钦福
光照设备及其使用方法以及半导体处理设备
本申请公开一种光照设备及其使用方法以及半导体处理设备,能够减小因灯泡灼烧(Bulb burning)导致的UVLS发出的光源强度衰减,优化光刻效果。本申请中的光照设备包括:光源,用于输出第一功率的光信号,且所述光信号至少...
王鹏
颜泽斌
赖俊生
一种光学组件、光刻系统以及光刻投影方法
本发明公开了一种光学组件、光刻系统以及光刻投影方法,通过在基底101上设置反射层102,在基底101背面和/或基底101与反射层102之间设置热电层103,能够通过热电层103将光学组件中的热能转换为电能,从而及时把热能...
李建新
曾依蕾
杨忠宪
文献传递
存储器及其形成方法
本发明提供了一种存储器及其形成方法。通过使有源区阵列中的有源区和位于有源区阵列外围的边缘围设部具有不同的离子掺杂状况,使得边缘围设部不具备与有源区相同的导电性能,从而可避免位线在跨越边缘围设部时与边缘围设部电性导通,有效...
张钦福
程恩萍
冯立伟
半导体器件
本实用新型提供了一种半导体器件。在利用位线组和隔离线组界定出节点接触窗阵列的基础上,还进一步设置辅助线,以利用辅助线界定出辅助接触窗在节点接触窗阵列的外围,此时基于该辅助接触窗,即可以有效均衡节点接触窗阵列中边缘区域和中...
童宇诚
赖惠先
林昭维
朱家仪
文献传递
半导体元件
本实用新型公开了一种半导体元件,包括衬底,包括第一有源区、第一隔离区、第二有源区以及第二隔离区沿着一第一方向连续排列。第一位线位在第一有源区上。第二位线位在第二隔离区上。存储节点接触结构位在第一位线和第二位线之间,并且与...
冯立伟
张钦福
半导体装置的形成方法
本发明公开一种半导体装置的形成方法,其包含以下步骤。提供一个目标层,在该目标层上形成一个掩模结构,该掩模结构包含一个第一掩模层、一个牺牲层以及一个第二掩模层,该第一掩模层与该第二掩模层包含相同的组成,但比例不同。接着,图...
张峰溢
刘玮鑫
林盈志
李瑞珉
林刚毅
李甫哲
文献传递
半导体结构的制作方法
本发明公开一种半导体结构的制作方法,首先,提供一基底,基底上定义有一密集区以及一宽疏区,接着形成一第一介电层于该密集区以及该宽疏区上内,然后形成多个第一凹槽于该密集区中的该第一介电层内,以及形成一第二凹槽于该宽疏区中的该...
张峰溢
李甫哲
文献传递
半导体元件及其制作方法
本发明公开一种制作半导体元件的方法,其主要先提供一基底,该基底上具有一存储器区以及一周边区,然后形成一第一凹槽以及一第二凹槽于存储器区的基底内,其中第二凹槽宽度大于第一凹槽宽度,接着形成一第一衬垫层、一第二衬垫层以及一第...
苏郁珊
吴家伟
钟定邦
文献传递
半导体结构
本发明公开一种半导体结构,其包含一基底,一元件区定义于该基底上,多个下电极结构,位于该元件区内,一上支撑结构,接触该下电极结构的一顶部区域,以及至少一中支撑结构,位于该基底与该上支撑结构之间,接触该下电极结构的一中部区域...
张家隆
刘玮鑫
陈柏均
陈意维
蔡函原
吴姿锦
邹世芳
文献传递
全选
清除
导出
共110页
<
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
>
聚类工具
0
执行
隐藏
清空
用户登录
用户反馈
标题:
*标题长度不超过50
邮箱:
*
反馈意见:
反馈意见字数长度不超过255
验证码:
看不清楚?点击换一张