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上海曙海太阳能有限公司
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曙光控股集团有限公司
住房和城乡建设部
珠海兴业绿色建筑科技有限公司
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相关领域:
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曙光控股集团有限公司
住房和城乡建设部
珠海兴业绿色建筑科技有限公司
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真空镀膜机
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13篇
2012
2篇
2010
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2009
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用于气相沉积反应腔的射频连接结构
本实用新型用于气相沉积反应腔的射频连接结构,包括射频电缆,射频电缆包括第一根电缆和第二根电缆,第一根电缆连接在第二根电缆的中部并导通,第一根电缆的端部连接射频输入接口,第二根电缆的两端分别连接射频输出接口。本实用新型用于...
郭锋
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电极盒
一种电极盒,用于真空镀膜机内。所述电极盒上部设置有进气口,下部设有排气口,进气口通过设有入气小孔矩阵的匀气板与电极盒内腔相通,排气口通过设有出气小孔矩阵的基板与电极盒内腔相通,该电极盒内腔包括若干电极板、该电极板上端与匀...
奚建平
金小亮
李茂程
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嵌入式反应腔
本实用新型公开了一种嵌入式反应腔,包括反应腔腔体内设有电极盒,所述电极盒包括匀气板和基板,所述匀气板、基板为上下横向设置,所述匀气板和基板之间为电极盒内腔,所述电极盒顶部设有进气口,气体自外接输入管路进入进气口,匀气板上...
郭锋
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双腔交替式非晶硅光伏薄膜化学气相沉积设备
本发明涉及一种双腔交替式非晶硅光伏薄膜化学气相沉积设备,是非晶硅薄膜太阳能电池的规模化生产中一种核心工艺设备,所述双腔交替式非晶硅光伏薄膜化学气相沉积设备包括真空镀膜机。该真空镀膜机设有两个真空腔体,每个真空腔体设有一到...
奚建平
金小亮
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非晶硅薄膜化学气相沉积吹扫装置
本实用新型公开了一种非晶硅薄膜化学气相沉积吹扫装置,包括一电极盒,所述电极盒的进气口通过一进气管道与一H2配气箱连接,所述电极盒的出气口通过一排气管道与一工艺泵连接,所述进气管道、排气管道上均设有气动阀。进行气相沉积时采...
郭锋
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新型电极盒
一种新型电极盒,用于真空镀膜机内。所述电极盒上部设置有进气口,下部设有排气口,进气口通过设有入气小孔矩阵的匀气板与电极盒内腔相通,排气口通过设有出气小孔矩阵的基板与电极盒内腔相通,该电极盒内腔包括若干电极板、该电极板上端...
奚建平
金小亮
李茂程
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非晶硅薄膜化学气相沉积系统
本实用新型公开了一种非晶硅薄膜化学气相沉积系统,包括电极盒及多个配气箱,所述多个配气箱分别通过管道与一输气管连接,所述输送管的末端与所述电极盒的进气口连接,所述配气箱与所述输气管连接的管道上设有调压阀和气动阀。该非晶硅薄...
郭锋
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新型电极盒
一种新型电极盒,用于真空镀膜机内。所述电极盒上部设置有进气口,下部设有排气口,进气口通过设有入气小孔矩阵的匀气板与电极盒内腔相通,排气口通过设有出气小孔矩阵的基板与电极盒内腔相通,该电极盒内腔包括若干电极板、该电极板上端...
奚建平
金小亮
李茂程
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双腔交替式非晶硅光伏薄膜化学气相沉积设备
本发明涉及一种双腔交替式非晶硅光伏薄膜化学气相沉积设备,是非晶硅薄膜太阳能电池的规模化生产中一种核心工艺设备,所述双腔交替式非晶硅光伏薄膜化学气相沉积设备包括真空镀膜机。该真空镀膜机设有两个真空腔体,每个真空腔体设有一到...
奚建平
金小亮
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建筑用光伏构件通用技术要求
本标准规定了建筑用光伏构件的术语和定义、分类、代号与标记、一般要求、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于工业与民用建筑用光伏构件。
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