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天津中环领先材料技术有限公司
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中环领先半导体材料有限公司
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一种用于测试大直径硅片背面金属含量的机械手
本实用新型提供一种用于测试大直径硅片背面金属含量的机械手,包括:机械手本体;翻转装置,设置在所述机械手本体上,控制所述机械手翻转;清洁装置,设置在所述机械手本体上,清洁所述机械手本体;吸附装置,设置在所述机械手本体上,吸...
周迎朝
由佰玲
邓春星
原宇乐
董楠
武卫
刘建伟
刘园
孙晨光
王彦君
祝斌
刘姣龙
裴坤羽
常雪岩
杨春雪
谢艳
袁祥龙
张宏杰
刘秒
吕莹
徐荣清
一种在单晶硅晶圆上实现高速率沉积SiO<Sub>2</Sub>薄膜的背封工艺
本发明涉及一种在单晶硅晶圆上实现高速率沉积SiO<Sub>2</Sub>薄膜的背封工艺,通过增大气体流量的方式增大反应气体的压强,使反应腔室内反应气体的浓度增加,反应产物SiO<Sub>2</Sub>的浓度相应增加,通过...
刘建伟
齐呈跃
黄建国
李家友
文献传递
一种磨片清洗工艺
本申请提供一种磨片清洗工艺,步骤包括:对研磨后的硅片先进行预清洗,再对预清洗后的硅片进行碱液清洗;其中,所述碱液清洗时所用的药液为弱碱性清洗剂。本申请一种磨片清洗工艺,适合各种类型产品的清洗,清洗效果好且质量高,避免多种...
白玉麟
段立群
孙希凯
东士博
刘建伟
谭永麟
孙晨光
王彦君
硅片表面金属离子测试装置
本发明提供一种硅片表面金属离子测试装置,包括提取装置、旋转工作台和控制装置,所述提取装置包括真空泵、真空管和提取枪,所述提取枪包括通过管路连接的扫描液存放腔和工作室,所述扫描液存放腔位于所述工作室上方,所述真空泵通过真空...
吕莹
张晋英
张宇
刘琦
李翔
文献传递
一种硅片清洗装置
本实用新型提供一种硅片清洗装置,包括清洗部一和清洗部二,其中,所述清洗部一和所述清洗部二均设有:转台,其与硅片边缘接触,用于控制硅片旋转并使硅片悬置;喷淋组,其置于硅片两侧表面,用于对硅片双侧表面进行喷淋;所述清洗部一中...
刘园
袁祥龙
赵洋
武卫
刘建伟
祝斌
刘姣龙
裴坤羽
孙晨光
王彦君
张宏杰
由佰玲
常雪岩
杨春雪
谢艳
刘秒
吕莹
徐荣清
一种提高区熔真空泵利用率的装置及方法
本发明提供了一种提高区熔真空泵利用率的装置及方法,包括至少三台单晶炉,每台所述单晶炉出口连接管路,所述管路并联汇合至与真空泵管路连通,所述真空泵管路的另一端连接真空泵,所述管路与所述单晶炉之间通过第一波纹管连接,每个所述...
张志富
李伟凡
郝大维
边智学
刘愿
郭宝川
一种IGBT用8英寸硅抛光片表面金属离子含量的测试方法
本发明涉及一种IGBT用8英寸硅抛光片表面金属离子含量的测试方法,该方法利用KoreaExpert公司生产的全自动VPD前处理设备,配合Agilent公司Agilent7700系列电感耦合等离子体质谱仪对8英寸抛光片的表...
吴晓明
吕莹
王国瑞
张晋英
文献传递
晶圆片架
本实用新型涉及晶圆片架;晶圆片架包括片架本体以及装载组件;所述片架本体包括收容晶圆的容置腔;所述装载组件包括一端设有第一开口且呈管状的容置结构,所述容置结构设置于所述片架本体上,且所述容置结构内设形成容纳腔,用于收容棒式...
邱摩西
刘汝拯
陈松平
何江波
一种贴片机防飘片检测装置
本实用新型提供了一种贴片机防飘片检测装置,包括陶瓷盘、贴片机和图像采集单元,陶瓷盘上表面形成用于放置硅片的放置区,贴片机设置在陶瓷盘的上方,用于向陶瓷盘上放置硅片;图像采集单元包括摄像头和图像处理系统,摄像头设置在陶瓷盘...
张晋英
安爱博
许普增
刘子申
严政先
赵欣
郭会波
孙晨光
王彦君
一种便于拆装区熔线圈的辅助装置
本实用新型提供一种便于拆装区熔线圈的辅助装置,该装置包括一种便于拆装区熔线圈的辅助装置,其特征在于:包括珍珠棉、主体钢托、连接杆,所述珍珠棉下表面与主体钢托上表面连接,所述主体钢托下表面中心位置设置有连接杆。该实用新型的...
边智学
郝大维
刘琨
吴峰
赵闯
李皓
王聚安
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