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有研半导体材料有限公司

作品数：231 被引量：49H指数：5
相关机构：有色金属技术经济研究院浙江金瑞泓科技股份有限公司质量检验中心更多>>
发文基金：国家科技重大专项浙江省科技计划项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺化学工程理学更多>>

合作机构

文献类型

  • 173篇专利
  • 29篇期刊文章
  • 27篇标准
  • 1篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 35篇电子电信
  • 14篇金属学及工艺
  • 8篇化学工程
  • 7篇理学
  • 6篇经济管理
  • 3篇自动化与计算...
  • 3篇语言文字
  • 2篇水利工程
  • 2篇一般工业技术
  • 2篇文化科学
  • 1篇机械工程
  • 1篇动力工程及工...
  • 1篇电气工程
  • 1篇环境科学与工...

主题

  • 70篇单晶
  • 51篇硅片
  • 36篇硅单晶
  • 34篇抛光
  • 22篇区熔
  • 20篇多晶
  • 18篇抛光片
  • 17篇晶圆
  • 17篇硅
  • 15篇单晶硅
  • 15篇单晶炉
  • 15篇硅片表面
  • 14篇多晶硅
  • 14篇放肩
  • 12篇单晶生长
  • 12篇籽晶
  • 11篇酸腐蚀
  • 11篇区熔硅单晶
  • 10篇收尾
  • 7篇等径

机构

  • 231篇有研半导体材...
  • 13篇有色金属技术...
  • 12篇浙江金瑞泓科...
  • 10篇质量检验中心
  • 9篇山东有研半导...
  • 7篇浙江海纳半导...
  • 5篇北京有色金属...
  • 5篇有研新材料股...
  • 3篇青海黄河上游...
  • 3篇新特能源股份...
  • 3篇隆基绿能科技...
  • 2篇大连理工大学
  • 2篇中国计量科学...
  • 2篇江苏中能硅业...
  • 2篇北京聚睿众邦...
  • 2篇杭州海纳半导...
  • 2篇宜昌南玻硅材...
  • 2篇亚洲硅业(青...
  • 2篇广州市昆德科...
  • 2篇苏州协鑫光伏...

作者

  • 5篇周旗钢
  • 1篇谭敦强
  • 1篇白桦
  • 1篇何文
  • 1篇张庆
  • 1篇董志刚
  • 1篇王志娟
  • 1篇康仁科
  • 1篇吕庆
  • 1篇王毅丹
  • 1篇邝海

传媒

  • 8篇材料科学
  • 6篇稀有金属
  • 2篇金刚石与磨料...
  • 2篇冶金标准化与...
  • 2篇人工晶体学报
  • 1篇价值工程
  • 1篇半导体技术
  • 1篇分析测试学报
  • 1篇发光学报
  • 1篇稀有金属与硬...
  • 1篇云南化工
  • 1篇现代商业
  • 1篇产业与科技论...
  • 1篇物理化学进展

年份

  • 1篇2023
  • 1篇2022
  • 27篇2021
  • 41篇2020
  • 49篇2019
  • 38篇2018
  • 48篇2017
  • 17篇2016
  • 9篇2015
共 231 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种通过控制收尾形状获得无位错重掺锑硅单晶的方法
本发明公开了一种通过控制收尾形状获得无位错重掺锑硅单晶的方法，其特征在于，在单晶的收尾过程中，通过控制收尾的拉速和温度，使尾部形状中出现一段与等径部分形状相同的圆柱形；如果收尾完好，可以清晰的看到“胞线”，表明硅单晶尾部...
王万华李英涛皮小争崔彬吴志强刘斌
文献传递
硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法
本标准规定了单晶和铸造多晶的硅片及硅锭的载流子复合寿命的非接触微波反射光电导衰减测试方法。
一种IGBT用硅衬底抛光片的制备方法
本发明公开了一种IGBT用硅衬底抛光片的制备方法。该方法依次包括以下工序：硅单晶生长→晶体检测→滚磨→多线切割→倒角→双面研磨→化学腐蚀→POLY薄膜生长→中间检测→化学机械抛光→清洗→出厂检验，其中，在拉晶过程中采用水...
钟耕杭张健华程凤伶徐继平宁永铎边永智颜俊尧李钧宏连庆伟崔彬李英涛
文献传递
一种改善硅抛光片表面粗糙度的抛光方法
本发明公开了一种改善硅抛光片表面粗糙度的抛光方法，该抛光方法包括以下步骤：(1)对硅片背面进行喷蜡处理，将硅片贴在陶瓷板上；(2)将贴在陶瓷板上的硅片先进行粗抛光；(3)将完成粗抛光的硅片进行1、2号中抛光；(4)将完成...
路一辰李俊峰潘紫龙王玥王新
文献传递
重掺硅单晶中氧含量的测试
2020年
测定重掺硅单晶中的氧主要采用惰性气体熔融–红外光谱法,然而如何保证测试结果的准确性却是一个问题。本文讨论了惰性气体熔融–红外光谱法中拉制标准曲线的方法和建立测试的分析方法,通过该方法,可以获得重掺硅中准确的氧含量数据。
陈海滨库黎明王永涛刘建涛王磊闫志瑞
关键词：氧
一种根据生长角度控制区熔单晶自动生长的方法
本发明公开了一种根据生长角度控制区熔单晶自动生长的方法。在该方法控制的区熔单晶自动生长过程中，通过设置单晶生长角度，并且考虑由于单晶直径和熔区深度变化造成的熔区体积变化，从而精确计算出单晶达到预设直径时所需的多晶移动速度...
尚锐刚王永涛李明飞白杜娟高源鲁进军张建闫志瑞
文献传递
电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
本标准规定了电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)测定电子级多晶硅中痕量基体金属杂质含量的方法。本标准适用于GB/T 12963中在基体金属杂质小于5ng/g范围内铁、铬、镍、铜、锌、钠含量的测定。
一种检测直拉重掺硅单晶生长纹理的方法
本发明公开了一种检测直拉重掺硅单晶生长纹理的方法。包括以下步骤：选择完整的直拉重掺硅单晶，截取单晶头部的圆锥和圆柱部分；纵向剖开取样片；在室温条件下对样片表面进行混酸腐蚀处理，然后纯水清洗至镜面效果，酸液为氢氟酸和硝酸的...
李英涛蒿鹏程方峰王永涛崔彬刘斌张果虎
文献传递
一种硅片边缘抛光工艺
本发明公开了一种硅片边缘抛光工艺，该工艺包括以下步骤：(1)使用清洗机对硅片进行清洗处理；(2)将清洗后的硅片进行机台对中处理；(3)对硅片的圆边边缘进行抛光处理；(4)将完成圆边边缘抛光的硅片进行参考面定位处理；(5)...
路一辰王新李俊峰潘紫龙王玥李耀东曲翔史训达
文献传递
硅材料中氧含量的测试　惰性气体熔融红外法即将实施
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