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应用薄膜有限公司
作品数:
28
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相关机构:
上海海优威新材料股份有限公司
凸版印刷株式会社
ALD真空技术股份有限公司
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相关领域:
自动化与计算机技术
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28篇
中文专利
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1篇
自动化与计算...
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衬底
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涂层
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机构
28篇
应用薄膜有限...
4篇
上海海优威新...
2篇
凸版印刷株式...
1篇
ALD真空技...
年份
4篇
2024
2篇
2010
4篇
2007
8篇
2006
10篇
2005
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用于平面磁控管的磁体装置
本发明涉及一种用于平面磁控管的磁体装置,其中第一磁极包围第二磁极。这种磁体装置在纵向方向朝向靶线性运动一定数值的距离,且随后在相反方向向回移动相同数值的距离。在一个实施例中,产生附加的垂直运动。所述磁体装置被设计成北极与...
T·戴裴弛
A·洛普
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生物全降解型烟用地膜及其制备方法
本发明涉及一种生物全降解型烟用地膜及其制备方法,其包含的组成及其重量百分比为:玉米淀粉:30-70%;增塑剂:10-30%;乙烯乙烯醇共聚物:5-50%;增容改性剂:0-10%;粘土:0-5%。本发明制备方法简单、灵活;...
孙康
乔秀颖
杜爱祥
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用于反应溅射的设备
本发明涉及一种用于反应溅射的设备,其中对阴极施加等离子体的放电电压,将工作气体和反应气体引入溅射室内。利用阀门控制流入溅射室的总气流,同时使这两种气体的部分压力比值保持固定。
托马斯·弗里茨
冈特·克梅雷尔
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调节在纵向移动的带材上的涂层材料层厚的方法和装置
本发明涉及一种用来调节沿纵向移动的带材上的涂层材料层厚的方法和装置。在带材的宽度方向的几个位置测量涂层的厚度,调节涂层装置,以使带材宽度方向的涂层厚度一致。厚度调节可以通过变化蒸发涂层材料的电子束的强度的方法获得。但是,...
汉泽-格奥尔格·洛茨
彼得·绍尔
格哈德·施泰尼格尔
格尔德·霍夫曼
赖纳·路德维希
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用于涂覆基片的装置
本发明涉及一种用于涂覆基片的装置,该装置包括汽化源及位于汽化源与基片之间的隔汽部件。隔汽部件的温度被保持在至少待汽化材料的汽化温度,或在该温度之上。该隔汽部件被实施为一石英阀,此阀包含一个球形封闭部件,该球形封闭部件与一...
U·霍夫曼
M·施莱尔
J·M·迪盖斯-坎普
M·本德尔
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调换与运送涂层流水线构件的装置
本发明涉及一种涂层流水线(1),特别是用于大面积、方格状或板状底层优选为玻璃底层的连续涂层的真空处理装置,并从而涉及用于调换与运送涂层流水线的构件(10)的装置,所述装置具有的运送系统包括运送通道(4)和至少一个可沿所述...
圭多·哈滕多夫
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衬底运载装置
本申请涉及一种用于衬底的运载装置,其中运载装置至少部分是由热膨胀系数高于衬底热膨胀系数的材料构成。为了避免或者至少减少衬底在边缘处的不均匀涂敷,特别是在溅射过程中,板片在中心与运载装置相连。该板片的热膨胀系数低于其在运载...
T·克卢格
O·海默尔
文献传递
衬底运载装置
本申请涉及一种用于衬底的运载装置,其中运载装置至少部分是由热膨胀系数高于衬底热膨胀系数的材料构成。为了避免或者至少减少衬底在边缘处的不均匀涂敷,特别是在溅射过程中,板片在中心与运载装置相连。该板片的热膨胀系数低于其在运载...
T·克卢格
O·海默尔
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用于更换卷筒的装置
本发明涉及一种用于更换网布形式的材料的涂布设备的收卷或解卷室中的卷筒的装置。这样的装置设置在涂布室的两侧,一个装置作为收卷卷筒并且另外一个作为解卷卷筒。该装置包括两个用于接收卷筒端轴承的导轨,该导轨包括两部分,其中一部分...
彼得·斯库克
卡尔-海因里希·文克
理查德·克劳斯
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带有磁电管和目标物的溅射设备
本发明涉及带有磁电管和目标物的溅射设备,其中磁电管和目标物之间可以相对移动。磁电管包括磁体系统,它形成准矩形等离子管,该等离子管的两个长边之间距离为C。如果目标物和磁体系统的相对移动路程对应于距离C,则布置磁体系统使得等...
安德烈亚斯·勒普
安德烈亚斯·伊什科
迈克尔·盖斯勒
赫伯特·法伊弗
约尔格·克伦佩尔-埃塞
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