2024年11月28日
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王学毅
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一种横向高压双极结型晶体管及其制造方法
本发明公开了一种横向高压双极结型晶体管及其制造方法;包括P型衬底、N型埋层、P型埋层、N型外延层、P型隔离穿透区、N型穿通区、P型体区、N型重掺区、N型重掺环区、预氧层、场氧层、TEOS金属前介质层、发射区金属、集电极金...
刘建
刘青
税国华
张剑乔
易前宁
陈文锁
文献传递
一种用ICP干法刻蚀制作薄膜电阻的方法
本发明公开了一种用ICP干法刻蚀制作薄膜电阻的方法,其特征在于,包括:衬底介质层、薄膜电阻层、掩蔽层、介质层、隔离层和金属层。进行以下步骤:1)在衬底介质层上淀积一层电阻薄膜层。2)在所述电阻薄膜层上淀积一层掩蔽层。3)...
郭亿文
冉明
王学毅
王飞
崔伟
一种肖特基势垒接触的沟槽型超势垒整流器
本实用新型公开了一种肖特基势垒接触的沟槽型超势垒整流器;所述肖特基势垒接触的沟槽型超势垒整流器包括上电极层、重掺杂第一导电类型衬底层、轻掺杂第一导电类型外延层、第二导电类型体区、第二导电类型埋层、栅介质层、栅电极层、肖特...
陈文锁
张培健
钟怡
刘建
陆泽灼
文献传递
一种高压衬底PNP双极结型晶体管及其制造方法
本发明公开了一种高压衬底PNP双极结型晶体管及其制造方法;具体是在一种常规的衬底PNP双极结型晶体管的基础上,在整个集电区边缘加上第一层金属,使集电极第一层金属边缘覆盖于整个集电区之上,尺寸超出集电区结深的一到五倍,而发...
刘建
刘青
税国华
张剑乔
陈文锁
张培健
文献传递
一种基于BiCMOS工艺的硅锗异质结双极晶体管的制造方法
本发明公开一种基于BiCMOS工艺的硅锗异质结双极晶体管的制造方法,步骤为:1)生长LOCOS隔离场氧化层,形成最优硅基衬底;2)形成SiGe HBT晶体管发射极有源区与集电极有源区之间的LOCOS场氧化层、器件间用于隔...
朱坤峰
张广胜
杨永晖
钟怡
崔伟
谭开洲
黄东
钱呈
杨法明
张培健
多晶硅SOI基板型光电耦合器、其集成电路及制备方法
本发明公开了一种多晶硅SOI基板型光电耦合器,包括作为衬底硅的第一衬底、作为SiO<Sub>2</Sub>中间层的第一介质层和顶层多晶硅,顶层多晶硅通过低压力化学气相沉积法淀积在第一衬底上;光电耦合器包括制作在第一衬底中...
徐开凯
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赵建明
张宁
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廖楠
徐银森
洪继霖
陈勇
施宝球
曾尚文
李洪贞
刘继芝
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一种欧姆接触和肖特基接触超级势垒整流器及其制作方法
本发明公开了一种欧姆接触和肖特基接触超级势垒整流器及其制作方法,其特征在于:包括下电极层、重掺杂第一导电类型衬底层、轻掺杂第一导电类型外延层、第二导电类型体区、肖特基接触区、栅介质层、栅电极层、掩蔽介质层、欧姆接触区和上...
陈文锁
黄彬
张培健
刘建
王飞
欧宏旗
钟怡
一种基于光伏应用的VDMOS旁路开关
本发明公开了一种基于光伏应用的VDMOS旁路开关,由N沟道的具有超低导通压降的VDMOS、驱动控制模块和电容组成,VDMOS为核心部分,C+接电容正端,C‑接电容负端,G接VDMOS栅级,D+接VDMOS阳极,D‑接VD...
刘建
刘青
税国华
张剑乔
文献传递
SiGe集成电路工艺技术现状及发展趋势
被引量:9
2018年
介绍了基于SiGe材料的集成电路工艺技术概况,包括SiGe HBT器件结构、SiGe HBT特色双极工艺、SiGe BiCMOS工艺等。概述了SiGe工艺技术的应用情况以及国内外发展现状,并结合应用需求,提出了国内模拟集成电路制造用SiGe工艺技术的发展趋势。
马羽
王志宽
崔伟
关键词:
异质结
SIGE
HBT
SIGE
BICMOS工艺
一种带有表面杂质浓度调节区的肖特基整流器及制造方法
本发明公开了一种带有表面杂质浓度调节区的肖特基整流器及制造方法;所述带有表面杂质浓度调节区的肖特基整流器包括重掺杂第一导电类型衬底层、轻掺杂第一导电类型外延层、第二导电类型保护环区、第一导电类型表面杂质浓度调节区、场介质...
陈文锁
钟怡
欧宏旗
杨婵
刘建
张培健
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