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株式会社荏原制作所

作品数：2,371 被引量：0H指数：0
相关机构：株式会社东芝荏原冷热系统株式会社株式会社荏原电产更多>>
相关领域：电子电信化学工程自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

合作机构

文献类型

  • 2,371篇中文专利

领域

  • 132篇电子电信
  • 106篇化学工程
  • 77篇自动化与计算...
  • 51篇金属学及工艺
  • 42篇文化科学
  • 19篇医药卫生
  • 15篇电气工程
  • 14篇机械工程
  • 12篇一般工业技术
  • 3篇矿业工程
  • 3篇动力工程及工...
  • 3篇轻工技术与工...
  • 3篇环境科学与工...
  • 2篇经济管理
  • 2篇建筑科学
  • 2篇理学
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇农业科学
  • 1篇政治法律

主题

  • 751篇基板
  • 345篇研磨装置
  • 340篇研磨
  • 221篇晶片
  • 174篇镀覆
  • 157篇抛光
  • 153篇半导体
  • 123篇按压
  • 116篇叶轮
  • 113篇半导体晶片
  • 106篇膜厚
  • 100篇支承
  • 98篇流体
  • 96篇传感
  • 93篇感器
  • 93篇传感器
  • 84篇阳极
  • 83篇电镀
  • 71篇密封
  • 67篇抛光装置

机构

  • 2,371篇株式会社荏原...
  • 22篇株式会社东芝
  • 12篇荏原冷热系统...
  • 10篇株式会社荏原...
  • 6篇CKD株式会...
  • 6篇株式会社荏原...
  • 6篇株式会社岛津...
  • 4篇伦敦大学学院
  • 3篇宇部兴产株式...
  • 3篇国立大学法人...
  • 3篇荏原环境工程...
  • 3篇株式会社尼康
  • 3篇新明和工业株...
  • 2篇东芝株式会社
  • 2篇米利波尔公司
  • 2篇日本微涂料株...
  • 2篇高砂热学工业...
  • 2篇花王株式会社
  • 2篇第一高周波工...
  • 2篇东芝产业机器...

年份

  • 82篇2024
  • 184篇2023
  • 161篇2022
  • 136篇2021
  • 135篇2020
  • 141篇2019
  • 147篇2018
  • 115篇2017
  • 125篇2016
  • 92篇2015
  • 79篇2014
  • 55篇2013
  • 41篇2012
  • 36篇2011
  • 40篇2010
  • 81篇2009
  • 80篇2008
  • 73篇2007
  • 87篇2006
  • 73篇2005
共 2,371 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
涡电流传感器及研磨装置
本发明提供一种对周围环境的变化与过去相比更不易受到影响的涡电流传感器及研磨装置。用于检测可生成于晶片的涡电流的涡电流传感器(50)具有作为磁性体的磁芯(136)。磁芯(136)具有：基部(120)；在基部(120)的第一...
山田洋人高桥太郎涩江宏明
文献传递
检查方法、检查装置以及具备该检查装置的电镀装置
本发明提供一种即使是少量的液体也能够检测的基板支架的检查装置。提供一种基板支架的检查方法，上述基板支架具有：第一部件和第二部件，夹住基板对其进行保持；电接点，构成为与上述基板的被处理面接触；以及密封部件，以使液体不与上述...
富田正辉
气体溶解液制造装置
本发明提供一种气体溶解液制造装置，能够改变气液分离部的内部空间的容积，能够根据装置的使用状况而适当地调整气液分离部的内部空间的容积。气体溶解液制造装置(1)具备：气体溶解部(4)，该气体溶解部使第一原料的液体溶解于第二原...
中川洋一
文献传递
电连接端子
1.本外观设计产品的名称为电连接端子。;2.本外观设计产品例如如使用状态参考图所示，是将前端部与保持在基板电镀装置的支承面上的晶片的周端部抵接而使用的部件，能够通过通电对浸渍于电镀液的晶片实施电镀。;3.本外观设计产品是...
宫本松太郎
氢的制造方法及装置
在使用固体氧化物电解质膜，向阳极侧供给还原性气体，向阴极侧供给水蒸气，在阳极侧使氧离子与该还原性气体反应形成氧离子浓度梯度，使电解电压降低的高温水蒸气电解装置中，考察了电解槽内部的热平衡，找出了供给的还原性气体和水蒸气的...
松村知大下孝裕上野修一三泽秀行萩原正弘白泽至横田洋内野章早川淳一井坂信一
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衬底处理设备和衬底处理方法
一种衬底处理设备，具有处理槽(10)、罩(40)、喷嘴(60)和衬底头(80)。处理槽(10)用于在容纳于其中的镀液(Q)中对衬底(W)进行镀膜；罩(40)用于有选择地打开和关闭该处理槽(10)的开口(11)；喷嘴(60...
胜冈诚司关本雅彦渡边辉行小川贵弘小林贤一宫崎充本岛靖之横山俊夫
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电动机架以及使用该电动机架的电动机及电动泵
本发明涉及能有效且稳定地将安装着的变换器水冷的电动机架以及使用该电动机架的电动机及电动泵。用同一金属材料把第1筒状部(1)、第2筒状部(2)和频率变换器安装用座(3)一体成形;上述第1筒状部(1)的内部收容电动机定子;上...
山本雅和三宅良男饭岛克自本山研二
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空调系统
一种高效空调装置和包括该装置的空调系统,该装置包括引导第一空间中空气到第二空间的第一空气通道A和引导第二空间中空气到第一空间的第二空气通道B。一除湿装置103交替与第一和第二通道连通,在第一通道中进行再生,在第二通道中进...
前田健作
文献传递
镀覆装置的维护方法
本发明提供一种能够抑制配置于镀覆槽的内部的膜的变形的技术。镀覆装置的维护方法包括：在将阳极室的阳极液返回至阳极液罐后，使阳极液在阳极液罐与阳极室之间循环(步骤S10e)；和在将阴极室的阴极液返回至阴极液罐后、并且在阳极液...
富田正辉
湿式基板处理装置以及自动润滑脂供给系统
一种湿式基板处理装置以及自动润滑脂供给系统，为负荷小的搅拌用叶片的驱动机构。所述湿式基板处理装置包括用以保持处理液的处理槽、配置于所述处理槽的内侧的搅拌叶片、以及用以驱动所述搅拌叶片的驱动机构；所述驱动机构包括旋转马达、...
张绍华
文献传递
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