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安徽纯源镀膜科技有限公司
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一种镀膜载物台
本发明涉及一种镀膜载物台,包括转动安装的转轴,转轴延伸至镀膜腔室内的端部设置用于撑托待镀膜工件的载物台,载物台上设置有用于加热待镀膜工件的加热组件。本发明提供的上述方案,能够直接对被镀膜工件进行加热,可以实现对被镀膜工件...
张心凤
夏正卫
刘洋
一种超黑高性能Ti-DLC涂层的制备工艺
本发明涉及一种超黑高性能Ti‑DLC涂层的制备工艺,包括将工件置于真空腔室内,对真空腔室进行抽气处理,抽气处理后对真空腔室和/或工件进行除杂处理,除杂处理后向真空腔室内充入Ar,采用中频电源孪生Ti靶在工件的表面制备打底...
张心凤
夏正卫
李灿民
范洪跃
一种提高沉积速率的设备
本发明涉及一种提高沉积速率的设备,包括安装在敲击机构上的敲击探头和安装在安装座上的靶材,靶材和敲击探头在靶面敲击时为面接触。本发明提供的上述方案,通过改变靶材和敲击探头在靶面敲击时的接触状态,提高沉积速率。
张心凤
夏正卫
李灿民
纯离子镀膜设备过滤器的挡灰装置
本实用新型涉及一种纯离子镀膜设备过滤器的挡灰装置,包括阴极靶材产生的等离子体向过滤器的入口移动,阴极靶材周围设置有阳极,过滤器的出口与镀膜腔室连通,镀膜腔室内放置基片,过滤器的入口设置有绝缘板挡环,绝缘板挡环呈圆锥管状,...
张心凤
郑杰
尹辉
文献传递
一种类金刚石薄膜离子源中离子的引出装置
本实用新型公开了一种类金刚石薄膜离子源中离子的引出装置,包括安装于保护外壳左端的隔板,隔板中部横向安装有工艺气体进气管,隔板左端面安装有内部挡板,内部挡板外周的隔板上固定有安装法兰,安装法兰上安装有离子源挡圈,内部挡板外...
张心凤
郑杰
尹辉
文献传递
一种耐高温类金刚石膜层的生产工艺
本发明涉及一种耐高温类金刚石膜层的生产工艺,包括将基底材料装配在真空容器内,对真空容器进行抽真空,抽真空后先采用离子束清洗工艺对基底材料的表面进行离子束清洗处理,然后再采用纯离子真空镀膜工艺对离子束清洗处理后的表面进行纯...
张心凤
夏正卫
范宏跃
文献传递
一种真空镀膜用双腔室物料转送装置
本发明涉及一种真空镀膜用双腔室物料转送装置,包括转送料杆,转送料杆的中部和镀膜腔室的室壁滑动配合,转送料杆包括A杆段和B杆段,A杆段位于镀膜腔室内且在A杆段的端部设置用于对工件进行托载的托载组件,B杆段位于镀膜腔室的外部...
张心凤
夏正卫
刘洋
汪鹏
一种离子镀技术制备TiAlN涂层的颜色渐变控制方法
本发明提供了一种离子镀技术制备TiAlN涂层的颜色渐变控制方法,该方法中所述离子镀技术选用多弧离子镀设备,在使用所述多弧离子镀设备制备TiAlN涂层时通过调整多弧离子镀设备的靶电流、工件负偏压、占空比、真空度、靶材厚度、...
张心凤
李灿民
夏正卫
文献传递
纯离子镀膜机
1.本外观设计产品的名称:纯离子镀膜机。;2.本外观设计产品的用途:用于材料表面处理。;3.本外观设计产品的设计要点:在于产品的外观形状。;4.最能表明设计要点的图片或照片:立体图。
张心风
夏正卫
刘洋
汪鹏
用于卡钳活塞的涂层夹具
本发明涉及一种用于卡钳活塞的涂层夹具,包括支架本体,支架本体上设置有各个用于夹装卡钳活塞的夹装部,各夹装部沿支架本体的周向间隔设置,夹装部上具有用于夹装卡钳活塞的夹持口,夹持口内夹装的卡钳活塞的中心线竖直布置,夹持口的朝...
张心凤
夏正卫
李灿民
阚磊
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