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爱发科豪威光电薄膜科技(深圳)有限公司
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挂片送料装置以及光学镀膜设备
本发明属于光学镀膜技术领域,尤其涉及一种挂片送料装置以及光学镀膜设备,其中,挂片送料装置包括基片架、位于镀膜机左侧并与送片口连通的递送室、与递送室连通并位于递送室下方的中间室以及用于将基片架从中间室提起至递送室并从送片口...
徐旻生
庄炳河
龚文志
张永胜
满小花
王应斌
文献传递
装卸片装置以及磁控溅射镀膜设备
本发明属于磁控溅射镀膜技术领域,尤其涉及一种装卸片装置以及磁控溅射镀膜设备,其中,装卸片装置包括装料机构和卸料机构,装料机构包括装料抓爪、装料驱动组件、装料升降组件以及装料吸持组件,卸料机构包括卸料抓爪、卸料驱动组件、装...
徐旻生
庄炳河
王应斌
龚文志
李永杰
张亮
文献传递
蒸发源装置以及溅射镀膜设备
本实用新型属于真空溅射镀膜技术领域,尤其涉及一种蒸发源装置以及溅射镀膜设备,其中,蒸发源装置包括第一蒸发源机构、与所述第一蒸发源机构水平错位的第二蒸发源机构以及用于驱动所述第二蒸发源机构上下运动的升降驱动机构。由于将蒸发...
徐旻生
庄炳河
龚文志
张永胜
满小花
王应斌
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金属基片装卡工作台
一种金属基片装卡工作台,用于金属基片的镀膜生产,包括支架、连接于支架上的托板、驱动件以及连接于所述驱动件上的吸盘,所述托板用于承载所述金属基片,所述吸盘位于托板下方,吸盘内设有若干磁铁用于吸引所述金属基片,所述驱动件驱动...
徐旻生
庄炳河
张永祺
张永胜
王应斌
龚文志
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镀膜生产线多级气氛隔离装置
本发明涉及一种镀膜生产线多级气氛隔离装置,用于在镀膜生产线中隔离相邻两镀膜室的工作气氛,包括至少两个依次邻接且以隔板相分隔的隔离室以及至少两个与所述隔离室一一对应连通设置的真空泵,在所述隔板中部还设有两端分别连通所述相邻...
徐旻生
庄炳河
张永胜
王应斌
龚文志
满小花
崔汉夫
张雨龙
磁钢装配治具
本实用新型涉及一种磁钢装配治具,包括基板、可滑动地安装于基板上的两支架、以及设于两支架之间且可相对支架移动的夹具,所述基板用于承载磁钢,所述夹具用于夹设要装配的磁钢,所述支架相对基板滑动将磁钢装配至特定位置,实现磁钢的机...
徐旻生
庄炳河
李辉龙
王应斌
龚文志
文献传递
蒸发源装置以及溅射镀膜设备
本实用新型属于蒸镀技术领域,尤其涉及一种蒸发源装置以及溅射镀膜设备,其中,蒸发源装置包括具有蒸发腔的蒸发箱、置于蒸发腔内的坩埚,坩埚开设有开口朝上设置并用于存放药液的存药腔,蒸发箱于其侧壁开设于蒸发腔连通与真空镀膜室对接...
徐旻生
庄炳河
龚文志
李永杰
张亮
唐宇霖
张永胜
满小花
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超硬高透膜生产设备
一种超硬高透膜生产设备,包括真空室装置、镀膜装置、传送装置和控制装置;所述真空室装置包括多个在横向上依次连续连接的真空腔室以及用于维持所述各真空腔室处于预定真空度状态的抽真空机构;所述镀膜装置包括预热机构、离子源机构和镀...
徐旻生
庄炳河
张永胜
满小花
黄高峰
龚文志
王应斌
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蒸发源机构以及溅射镀膜设备
本实用新型属于真空溅射镀膜技术领域,尤其涉及一种蒸发源机构以及溅射镀膜设备,其中,蒸发源机构包括蒸发源装置、药液滴灌装置和同步加药装置,蒸发源装置至少设有两个,包括加药阀、具有蒸发腔的蒸发箱以及置于蒸发腔内的坩埚,蒸发箱...
徐旻生
庄炳河
王应斌
龚文志
张亮
李永杰
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镀膜生产线多级气氛隔离装置
本发明涉及一种镀膜生产线多级气氛隔离装置,用于在镀膜生产线中隔离相邻两镀膜室的工作气氛,包括至少两个依次邻接且以隔板相分隔的隔离室以及至少两个与所述隔离室一一对应连通设置的真空泵,在所述隔板中部还设有两端分别连通所述相邻...
徐旻生
庄炳河
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崔汉夫
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