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厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院

作品数：230 被引量：563H指数：11
相关作者：邓林龙陈宏冯勇健包达群宁志远更多>>
相关机构：福州大学物理与信息工程学院厦门理工学院机械与汽车工程学院苏州市职业大学电子信息工程系更多>>
发文基金：国家自然科学基金福建省自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信理学自动化与计算机技术电气工程更多>>

合作机构

文献类型

  • 170篇期刊文章
  • 58篇会议论文
  • 1篇专利

领域

  • 75篇电子电信
  • 43篇理学
  • 36篇电气工程
  • 36篇自动化与计算...
  • 25篇机械工程
  • 25篇一般工业技术
  • 11篇化学工程
  • 4篇轻工技术与工...
  • 4篇农业科学
  • 3篇金属学及工艺
  • 3篇动力工程及工...
  • 3篇医药卫生
  • 3篇文化科学
  • 2篇天文地球
  • 2篇矿业工程
  • 2篇交通运输工程
  • 1篇经济管理
  • 1篇建筑科学
  • 1篇航空宇航科学...
  • 1篇环境科学与工...

主题

  • 32篇电池
  • 20篇微机电系统
  • 20篇机电系统
  • 20篇电系统
  • 18篇溅射
  • 16篇磁控
  • 16篇磁控溅射
  • 15篇感器
  • 15篇传感
  • 15篇传感器
  • 12篇太阳能电池
  • 12篇MEMS
  • 11篇开关
  • 9篇纳米
  • 9篇激光
  • 8篇电路
  • 8篇离子电池
  • 7篇射频MEMS...
  • 7篇射频磁控
  • 7篇射频磁控溅射

机构

  • 229篇厦门大学
  • 14篇福州大学
  • 6篇厦门理工学院
  • 5篇苏州市职业大...
  • 5篇中国科学院
  • 4篇西安交通大学
  • 3篇清华大学
  • 3篇新加坡国立大...
  • 2篇南京邮电大学
  • 2篇沈阳理工大学
  • 2篇浙江万里学院
  • 2篇西安电子科技...
  • 2篇新疆大学
  • 2篇中国运载火箭...
  • 2篇北京精密机电...
  • 2篇自然资源部第...
  • 2篇南方科技大学
  • 1篇广东药学院
  • 1篇北京大学第三...
  • 1篇福建农林大学

作者

  • 47篇郭航
  • 21篇吴孙桃
  • 15篇罗仲梓
  • 14篇于映
  • 13篇曾毅波
  • 12篇李静
  • 9篇伞海生
  • 9篇冯勇建
  • 8篇邓林龙
  • 8篇张翊
  • 7篇吴清鑫
  • 7篇张春权
  • 7篇吕雪芹
  • 6篇陈光红
  • 6篇郭东辉
  • 5篇郑兰荪
  • 5篇谢素原
  • 5篇陈宏
  • 5篇包达群
  • 5篇周勇亮

传媒

  • 24篇厦门大学学报...
  • 16篇微纳电子技术
  • 11篇传感技术学报
  • 11篇传感器与微系...
  • 9篇光学精密工程
  • 5篇功能材料与器...
  • 4篇功能材料
  • 4篇分析试验室
  • 3篇农业机械学报
  • 3篇仪器仪表学报
  • 3篇微电子学与计...
  • 3篇仪表技术与传...
  • 3篇中国微米/纳...
  • 2篇分析化学
  • 2篇中国仪器仪表
  • 2篇半导体技术
  • 2篇化工学报
  • 2篇物理学报
  • 2篇液压与气动
  • 2篇拖拉机与农用...

年份

  • 34篇2024
  • 16篇2023
  • 3篇2022
  • 7篇2020
  • 5篇2019
  • 11篇2018
  • 14篇2017
  • 16篇2016
  • 3篇2015
  • 8篇2014
  • 12篇2013
  • 9篇2012
  • 1篇2010
  • 13篇2009
  • 22篇2008
  • 12篇2007
  • 11篇2006
  • 10篇2005
  • 7篇2004
  • 15篇2003
共 230 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
TMAH单晶硅腐蚀特性研究被引量：16
2003年
TMAH是一种具有优良的腐蚀性能的各向异性腐蚀剂,选择性好,无毒且不污染环境,最重要的是TMAH与CMOS工艺相兼容,符合SOC的发展趋势。TMAH正逐渐替代KOH和其他腐蚀液,成为实现MEMS工艺中微三维结构的主要腐蚀剂。本文着重介绍了TMAH的特性、工艺条件及应用。
邓俊泳冯勇建
关键词：TMAH单晶硅各向异性腐蚀微机电系统
氮化硅薄膜力学性能的研究及其在射频MEMS开关中的应用
氮化硅薄膜具有致密的结构、高强度和良好的耐磨性能,可用于MEMS器件中作为结构部件.本文采用PECVD法制备氮化硅薄膜,对氮化硅薄膜的杨氏模量和硬度进行了测试,并分析了沉积温度、反应气体流量比对薄膜杨氏模量和硬度的影响....
于映吴清鑫罗仲梓
关键词：氮化硅薄膜杨氏模量MEMS射频开关力学性能
文献传递
CMOS集成温度传感器的曲率校正电路的设计与研制
本文设计了一种用于CMOS集成温度传感器二次非线性项修正的曲率校正电路,该电路有效解决了CMOS温度传感电路中电阻温度系数和PN结电压二次非线性项对输出线性度的影响.分析了该曲率校正电路的理论原理,提出了相应的电路实现方...
林凡黄晅郭东辉吴孙桃
关键词：CMOS温度传感器校正电路
文献传递
特定情景下的航空发动机企业维修保障策略研究
2023年
影响航空发动机维修保障(MRO)成效和成本的要素众多且关系复杂,而当前对企业在特定情景下维修策略优化的研究较少。为了揭示影响维修保障流程的要素关系,满足企业实际应用的需求,对流程中的流程主体、飞行时间统计环节、人力资源环节、维修成果评价环节和成本环节进行系统建模,利用系统动力学原理和灰狼优化算法并借助Vensim、Matlab等工具对企业人力资源质量调控和以性能为导向的两种实际应用情景进行优化策略分析,阐释所关注因素之间的相互影响规律。综合各因素对航空发动机维修过程的实际影响,本文所建立的模型和得到的最优维修流程策略具有较好的实用性和普适性。
周锐彭尚书李宇炀王晓东吴博傲刘喜宁雷泰然
关键词：人力资源质量系统动力学模型
超声技术在硅湿法腐蚀中的应用被引量：9
2009年
为了获得平滑的硅湿法腐蚀表面，在硅湿法腐蚀中引入超声技术。对超声湿法腐蚀系统进行了改进，以确保腐蚀溶液的顶部和底部温差在0．5℃之内。采用60℃，10％质量分数的KOH溶液，在超声频率为59kHz，超声功率为60～180w（间隔10W）条件下对（100）硅片进行湿法腐蚀。最后，运用激光共聚焦扫描显微镜（LSCM）对腐蚀后硅片表面粗糙度进行测量，并探讨超声参数的选择对腐蚀表面质量的影响。实验结果表明：超声功率在120W时，可以获得平滑的腐蚀表面，表面粗糙度Rq值为0．020um。在湿法腐蚀系统中采用超声技术，可以明显改善腐蚀表面质量，在较低温度和较低浓度的KOH溶液中，选择合适的超声参数可获得高品质的腐蚀表面。
曾毅波王凌云谷丹丹孙道恒
关键词：湿法腐蚀超声技术表面粗糙度激光共聚焦扫描显微镜微机电系统
钙钛矿太阳能电池材料和器件的研究进展被引量：7
2015年
基于金属有机卤化物吸光材料的钙钛矿太阳能电池是一种新型太阳能电池,近年来钙钛矿太阳能电池发展迅速,其光电转换效率从2009年的3.8%快速增加到2014年的20.1%,引起人们的广泛关注.本文系统总结了钙钛矿太阳能电池在材料和器件方面的研究进展,分析了钙钛矿太阳能电池发展中存在的主要问题,尤其是对稳定性问题进行了深入探讨,并提出了提高电池稳定性的途径和方法,预示了今后钙钛矿太阳能电池的发展方向.
邓林龙谢素原黄荣彬郑兰荪
关键词：钙钛矿太阳能电池
氮化硅薄膜力学性能的研究及其在射频MEMS开关中的应用被引量：15
2006年
氮化硅薄膜具有致密的结构、高强度和良好的耐磨性能,可用于MEMS器件中作为结构部件.本文采用PECVD法制备氮化硅薄膜,对氮化硅薄膜的杨氏模量和硬度进行了测试,并分析了沉积温度、反应气体流量比对薄膜杨氏模量和硬度的影响.应用氮化硅薄膜作为悬梁,制作了射频MEMS开关.
于映吴清鑫罗仲梓
关键词：氮化硅薄膜杨氏模量MEMS射频开关
应用于超声共振检测的PZT/Si复合材料换能器被引量：1
2008年
提出并设计了一种应用于超声共振检测的PZT/Si复合材料圆片换能器。该换能器是将一小硅片粘贴在PZT压电片上复合而成,硅片中心已有一个应用MEMS技术加工制造的倒金字塔小坑。这使得待测样品很容易安装在超声共振谱检测的平台上,并能提高测量的精确度。文中利用ANSYS对该换能器和单独PZT-4压电片换能器进行比较分析,得出了不同结构在相同电压和外力作用下产生的静态位移结果以及共振频率,并讨论了复合结构参数对换能器工作灵敏度的影响。结果表明,复合换能器的灵敏度仅降低4%~4.8%,可以应用在超声共振谱检测中。
孙宏明张志强郭航
含有二氧化钛薄膜增强虚拟阀的微流控芯片 用于二维凝胶电泳分离
2015年
在微流控芯片上进行二维电泳,能够有效缩短分析时间、减少试剂和样品消耗,并实现高通量分析,但需要隔离两维间不同的缓冲液体系,并能实现对蛋白的有效控制和传输。本研究在虚拟阀的基础上,通过两相界面上的水解反应,在两维微通道的接口处沉积一层二氧化钛薄膜,以增强虚拟阀的效果。分别对等电聚焦和SDS-聚丙烯酰胺凝胶电泳过程进行了考察。等电聚焦耗时约5 min,然后经电转移进入第二维通道进行凝胶电泳分离。凝胶电泳过程需5-10 min,迁移率与分离时间线性相关,与蛋白质分子量的对数值成反比。在上述工作的基础上,对蛋白质混合物进行了差异二维电泳分离。
苏建加陈宏
关键词：微流控芯片二维电泳接口二氧化钛
铰接农用车路径跟踪控制算法研究
2024年
针对铰接农用车在变附着系数路面条件下的路径跟踪精度难以保证的问题,提出了引入侧滑补偿的非线性模型预测控制(Nonlinear Model Predictive Control,NMPC)算法。首先,构建了考虑侧滑补偿的铰接农用车二自由度运动学模型,并基于该模型在Simulink中构建了NMPC控制器,最后以Adams环境中的虚拟铰接农用车为被控对象,以农业典型的地头转弯路径为参考路径,开展了变附着系数路面条件下的试验验证。结果表明,该算法的跟踪误差最大约为0.03 m,能够实现铰接农用车在变附着系数路面下的高精度路径跟踪。
程家琪魏涛陈轩伟高云龙祝青园邵桂芳
关键词：非线性模型预测控制侧滑角
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