厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院
- 作品数：195 被引量：537H指数：11
- 相关作者：吕雪芹邓林龙陈宏冯勇健包达群更多>>
- 相关机构：福州大学物理与信息工程学院苏州市职业大学电子信息工程系西安交通大学能源与动力工程学院动力工程多相流国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金福建省自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学电气工程一般工业技术更多>>
- TMAH单晶硅腐蚀特性研究被引量：16
- 2003年
- TMAH是一种具有优良的腐蚀性能的各向异性腐蚀剂,选择性好,无毒且不污染环境,最重要的是TMAH与CMOS工艺相兼容,符合SOC的发展趋势。TMAH正逐渐替代KOH和其他腐蚀液,成为实现MEMS工艺中微三维结构的主要腐蚀剂。本文着重介绍了TMAH的特性、工艺条件及应用。
- 邓俊泳冯勇建
- 关键词：TMAH单晶硅各向异性腐蚀微机电系统
- 氮化硅薄膜力学性能的研究及其在射频MEMS开关中的应用
- 氮化硅薄膜具有致密的结构、高强度和良好的耐磨性能,可用于MEMS器件中作为结构部件.本文采用PECVD法制备氮化硅薄膜,对氮化硅薄膜的杨氏模量和硬度进行了测试,并分析了沉积温度、反应气体流量比对薄膜杨氏模量和硬度的影响....
- 于映吴清鑫罗仲梓
- 关键词：氮化硅薄膜杨氏模量MEMS射频开关力学性能
- 文献传递
- CMOS集成温度传感器的曲率校正电路的设计与研制
- 本文设计了一种用于CMOS集成温度传感器二次非线性项修正的曲率校正电路,该电路有效解决了CMOS温度传感电路中电阻温度系数和PN结电压二次非线性项对输出线性度的影响.分析了该曲率校正电路的理论原理,提出了相应的电路实现方...
- 林凡黄晅郭东辉吴孙桃
- 关键词：CMOS温度传感器校正电路
- 文献传递
- 特定情景下的航空发动机企业维修保障策略研究
- 2023年
- 影响航空发动机维修保障(MRO)成效和成本的要素众多且关系复杂,而当前对企业在特定情景下维修策略优化的研究较少。为了揭示影响维修保障流程的要素关系,满足企业实际应用的需求,对流程中的流程主体、飞行时间统计环节、人力资源环节、维修成果评价环节和成本环节进行系统建模,利用系统动力学原理和灰狼优化算法并借助Vensim、Matlab等工具对企业人力资源质量调控和以性能为导向的两种实际应用情景进行优化策略分析,阐释所关注因素之间的相互影响规律。综合各因素对航空发动机维修过程的实际影响,本文所建立的模型和得到的最优维修流程策略具有较好的实用性和普适性。
- 周锐彭尚书李宇炀王晓东吴博傲刘喜宁雷泰然
- 关键词：人力资源质量系统动力学模型
- 超声技术在硅湿法腐蚀中的应用被引量：9
- 2009年
- 为了获得平滑的硅湿法腐蚀表面，在硅湿法腐蚀中引入超声技术。对超声湿法腐蚀系统进行了改进，以确保腐蚀溶液的顶部和底部温差在0．5℃之内。采用60℃，10％质量分数的KOH溶液，在超声频率为59kHz，超声功率为60～180w（间隔10W）条件下对（100）硅片进行湿法腐蚀。最后，运用激光共聚焦扫描显微镜（LSCM）对腐蚀后硅片表面粗糙度进行测量，并探讨超声参数的选择对腐蚀表面质量的影响。实验结果表明：超声功率在120W时，可以获得平滑的腐蚀表面，表面粗糙度Rq值为0．020um。在湿法腐蚀系统中采用超声技术，可以明显改善腐蚀表面质量，在较低温度和较低浓度的KOH溶液中，选择合适的超声参数可获得高品质的腐蚀表面。
- 曾毅波王凌云谷丹丹孙道恒
- 关键词：湿法腐蚀超声技术表面粗糙度激光共聚焦扫描显微镜微机电系统
- 钙钛矿太阳能电池材料和器件的研究进展被引量：7
- 2015年
- 基于金属有机卤化物吸光材料的钙钛矿太阳能电池是一种新型太阳能电池,近年来钙钛矿太阳能电池发展迅速,其光电转换效率从2009年的3.8%快速增加到2014年的20.1%,引起人们的广泛关注.本文系统总结了钙钛矿太阳能电池在材料和器件方面的研究进展,分析了钙钛矿太阳能电池发展中存在的主要问题,尤其是对稳定性问题进行了深入探讨,并提出了提高电池稳定性的途径和方法,预示了今后钙钛矿太阳能电池的发展方向.
- 邓林龙谢素原黄荣彬郑兰荪
- 关键词：钙钛矿太阳能电池
- 氮化硅薄膜力学性能的研究及其在射频MEMS开关中的应用被引量：15
- 2006年
- 氮化硅薄膜具有致密的结构、高强度和良好的耐磨性能,可用于MEMS器件中作为结构部件.本文采用PECVD法制备氮化硅薄膜,对氮化硅薄膜的杨氏模量和硬度进行了测试,并分析了沉积温度、反应气体流量比对薄膜杨氏模量和硬度的影响.应用氮化硅薄膜作为悬梁,制作了射频MEMS开关.
- 于映吴清鑫罗仲梓
- 关键词：氮化硅薄膜杨氏模量MEMS射频开关
- 应用于超声共振检测的PZT/Si复合材料换能器被引量：1
- 2008年
- 提出并设计了一种应用于超声共振检测的PZT/Si复合材料圆片换能器。该换能器是将一小硅片粘贴在PZT压电片上复合而成,硅片中心已有一个应用MEMS技术加工制造的倒金字塔小坑。这使得待测样品很容易安装在超声共振谱检测的平台上,并能提高测量的精确度。文中利用ANSYS对该换能器和单独PZT-4压电片换能器进行比较分析,得出了不同结构在相同电压和外力作用下产生的静态位移结果以及共振频率,并讨论了复合结构参数对换能器工作灵敏度的影响。结果表明,复合换能器的灵敏度仅降低4%~4.8%,可以应用在超声共振谱检测中。
- 孙宏明张志强郭航
- 含有二氧化钛薄膜增强虚拟阀的微流控芯片 用于二维凝胶电泳分离
- 2015年
- 在微流控芯片上进行二维电泳,能够有效缩短分析时间、减少试剂和样品消耗,并实现高通量分析,但需要隔离两维间不同的缓冲液体系,并能实现对蛋白的有效控制和传输。本研究在虚拟阀的基础上,通过两相界面上的水解反应,在两维微通道的接口处沉积一层二氧化钛薄膜,以增强虚拟阀的效果。分别对等电聚焦和SDS-聚丙烯酰胺凝胶电泳过程进行了考察。等电聚焦耗时约5 min,然后经电转移进入第二维通道进行凝胶电泳分离。凝胶电泳过程需5-10 min,迁移率与分离时间线性相关,与蛋白质分子量的对数值成反比。在上述工作的基础上,对蛋白质混合物进行了差异二维电泳分离。
- 苏建加陈宏
- 关键词：微流控芯片二维电泳接口二氧化钛
- 小型铷原子频标光谱灯的改进设计
- 主要研究了铷光谱灯的结构改进,铷光谱灯作为被动型铷原子频标的重要部件之一,对铷频标整机性能的影响很大。光谱灯结构主要包括铷灯泡、激励线圈和射频电路。铷光谱灯采用的是原子光谱技术中常用的无极放电方案,选取振荡电路的着眼点主...
- 徐加山卢露郭航
- 关键词：射频电路铷原子频标整机性能激励线圈
- 文献传递
