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“上海－应用材料研究与发展”基金(065A04)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：冯飞王跃林熊斌杨广立更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院研究生院更多>>
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领域

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主题

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资助

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地区

  • 4个上海市
共 4 条 记 录，以下是 1-4
杨广立
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 红外探测器阵列 牺牲层 阵列器件 噪声等效温差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：色谱柱 热导检测器 固定相 微机电系统 气相色谱柱
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊斌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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