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国家科技重大专项(2009ZX02202)
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相关作者:
于长淞
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张春雷
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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于长淞
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:波像差 空间滤波器 投影物镜 剪切干涉 干涉仪
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向阳
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:成像光谱仪 波像差 横向剪切干涉仪 光学系统 空间光学
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齐克奇
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:并联 投影物镜 有限元方法 波像差 光刻物镜
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张春雷
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 成像光谱仪 光学加工 路径规划方法 压电陶瓷
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