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国家科技重大专项(2009ZX02040)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：张苗魏星薛忠营王曦林成鲁更多>>
相关机构：上海新傲科技股份有限公司中国科学院更多>>
发文基金：上海市国际科技合作基金上海市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

领域

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地区

  • 6个上海市
  • 1个北京市
共 7 条 记 录，以下是 1-7
林成鲁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王曦
供职机构：清华大学
研究主题：衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
魏星
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：衬底 弛豫 超晶格 光刻胶 绝缘体上硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
薛忠营
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：衬底 石墨烯 绝缘体 弛豫 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
武爱民
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅基 硅 波导 光子晶体 锗
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张苗
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：石墨烯 绝缘体 衬底 离子注入 弛豫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张波
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：衬底材料 SUB 绝缘体 锗 金属硅化物
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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