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国家科技重大专项(2009ZX02037)

作品数：13 被引量：42H指数：4
相关作者：李超波夏洋李勇滔杨威风汪明刚更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所昆明理工大学北京自动测试技术研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金中国科学院科研装备研制项目更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术理学自动化与计算机技术更多>>

领域

  • 25个电子电信
  • 18个一般工业技术
  • 17个电气工程
  • 16个自动化与计算...
  • 15个理学
  • 13个机械工程
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  • 2个轻工技术与工...
  • 1个生物学

主题

  • 21个等离子体
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  • 18个电路
  • 16个电流
  • 16个金属
  • 15个等离子
  • 15个信号
  • 15个气体
  • 15个离子注入
  • 14个等离子体浸没...
  • 14个电池
  • 14个电极
  • 10个单晶
  • 10个电场
  • 10个进气
  • 9个等离子体刻蚀
  • 8个单晶硅
  • 8个氮化镓
  • 7个氮化
  • 7个等离子喷涂

机构

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  • 4个昆明理工大学
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  • 2个中国科学技术...
  • 1个兰州大学
  • 1个山东科技大学
  • 1个云南工业大学
  • 1个上海大学
  • 1个燕山大学
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国科学院嘉...

资助

  • 32个国家科技重大...
  • 23个国家自然科学...
  • 12个中国科学院科...
  • 11个国家高技术研...
  • 5个国家重点基础...
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  • 1个山东省自然科...
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传媒

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  • 9个现代电子技术
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  • 8个微纳电子技术
  • 8个传感器与微系...
  • 7个激光与光电子...
  • 7个仪表技术与传...
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  • 5个核聚变与等离...
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  • 5个2010’全...
  • 4个北京科技大学...
  • 4个自动化仪表
  • 4个热加工工艺
  • 4个功能材料
  • 4个材料导报
  • 4个发光学报

地区

  • 28个北京市
  • 2个云南省
  • 1个上海市
共 32 条 记 录，以下是 1-10
李超波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS ALD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李勇滔
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪明刚
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子体 等离子体浸没离子注入 离子注入 离子 浸没
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨威风
供职机构：中国电子科技集团公司第十六研究所
研究主题：超浅结 发光二极管 感应耦合等离子体 GAN外延生长 内量子效率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘杰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子体浸没离子注入 离子注入 等离子体 离子 薄膜封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵章琰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：控制部件 表面肌电信号 半导体制造技术 射频电源 控制系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张阳
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氧化锌薄膜 共掺 氧化锌 锌源 受主
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李英杰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：阻抗匹配网络 E类 全固态 全反射 射频电源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
秦威
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：射频电源 阻抗匹配网络 功率放大电路 射频 供电线路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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