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国家科技重大专项(2008ZX01035-001-06)
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罗旭
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史峥
供职机构:浙江大学电气工程学院超大规模集成电路设计研究所
研究主题:光学邻近校正 集成电路 光刻 成品率 版图
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叶翼
供职机构:浙江大学电气工程学院超大规模集成电路设计研究所
研究主题:成品率 掩模 集成电路制造 关键面积 布局规划
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杨帆
供职机构:复旦大学信息科学与工程学院专用集成电路与系统国家重点实验室
研究主题:单颗粒 大气气溶胶 ATOFMS 互连线 时域
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罗旭
供职机构:复旦大学
研究主题:网格 延时 寄生电容 集成电路 互连线
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朱椒娇
供职机构:浙江大学电气工程学院超大规模集成电路设计研究所
研究主题:成品率 VORONOI图 关键面积 成品率模型 掩模
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陶俊
供职机构:复旦大学
研究主题:化学机械抛光 抛光工艺 铜互连 人工神经网络 网格
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曾璇
供职机构:复旦大学
研究主题:模拟电路 集成电路 集成电路设计 存储管理单元 互连线
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朱恒亮
供职机构:复旦大学信息科学与工程学院专用集成电路与系统国家重点实验室
研究主题:仿真数据 自动化领域 电路仿真 图像压缩 寄生电容
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