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国家自然科学基金(10775103)

作品数:10 被引量:9H指数:2
相关作者:辛煜黄晓江宁兆元孙恺袁强华更多>>
相关机构:苏州大学大连理工大学更多>>
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领域

  • 12个理学
  • 6个电子电信
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主题

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  • 8个电子温度
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  • 5个电特性
  • 5个电子密度
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  • 4个刻蚀
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  • 3个带隙
  • 3个氮化
  • 3个等离子
  • 3个等离子体技术
  • 3个等离子体诊断
  • 3个低介电常数

机构

  • 11个苏州大学
  • 1个大连理工大学
  • 1个南京大学
  • 1个新疆大学
  • 1个中国科学院等...
  • 1个国防科技大学
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资助

  • 12个国家自然科学...
  • 4个国家重点实验...
  • 3个江苏省自然科...
  • 2个江苏省高校省...
  • 2个江苏省高校省...
  • 2个江苏省重点实...
  • 1个国家高技术研...
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传媒

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  • 2个中国真空学会...
  • 2个中国真空学会...
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  • 1个材料科学与工...
  • 1个量子电子学报
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  • 1个物理实验

地区

  • 11个江苏省
  • 1个辽宁省
12 条 记 录,以下是 1-10
辛煜
供职机构:苏州大学
研究主题:感应耦合等离子体 等离子体 发射光谱 A-C 氟化非晶碳薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄晓江
供职机构:苏州大学
研究主题:氮分子 光谱研究 课件 晶体结构 感应耦合等离子体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宁兆元
供职机构:苏州大学
研究主题:等离子体 氟化非晶碳薄膜 ECR 感应耦合等离子体 光学带隙
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙恺
供职机构:苏州大学
研究主题:放电特性 甚高频 感应耦合等离子体 发射光谱 交叉型
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
袁强华
供职机构:苏州大学
研究主题:CS 截面 荧光 激发态 光学碰撞
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆文琪
供职机构:大连理工大学物理与光电工程学院
研究主题:等离子体诊断 探针 电子温度 等离子体 等离子体参数
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高璇
供职机构:苏州大学
研究主题:发射光谱 离子密度 电子温度 感应耦合等离子体 激发频率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐海朋
供职机构:苏州大学物理科学与技术学院(能源学院)江苏省薄膜材料重点实验室
研究主题:放电参数 氩等离子体 电子温度 电子密度 不均匀性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张杰
供职机构:苏州大学
研究主题:放电参数 氩等离子体 电子温度 电子密度 不均匀性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张杰
供职机构:苏州大学物理科学与技术学院
研究主题:不均匀性 转动温度 射频 N
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共2页<12>
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