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国家科技重大专项(2009ZX02035-006)

作品数：2 被引量：4H指数：2
相关作者：闫江陈广璐高建峰吴次南贺晓彬更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所贵州大学更多>>
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相关领域：电子电信更多>>

领域

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主题

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机构

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地区

  • 12个北京市
  • 1个贵州省
共 13 条 记 录，以下是 1-10
闫江
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 掩模 栅极 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵利川
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：料层 场效应晶体管 金属硅化物 穿通 选择性刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐兆云
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 空腔 集成度 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈广璐
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：粗糙度 掩膜 精确控制 金属栅极 图案化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴次南
供职机构：贵州大学
研究主题：微波加热 高考 教育公平 杀菌效果 超导转变
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 衬底 介质层 波导
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贺晓彬
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：刻蚀 光刻胶 电子束曝光 电子束 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李俊峰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许静
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 隧道结 磁矩 沟道
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李春龙
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 刻蚀 掩模 粗糙度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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共2页<12>
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