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莆田市自然科学基金(2010G03)
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郑志霞
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郑志霞
供职机构:莆田学院
研究主题:阳极键合 传感器 湿法腐蚀 键合 电容式
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冯勇建
供职机构:厦门大学
研究主题:电容式 MEMS 微型压力传感器 传感器 CMOS
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黄元庆
供职机构:厦门大学
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