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上海市国际科技合作基金(08520740100)
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张苗
魏星
薛忠营
王曦
林成鲁
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张波
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:衬底材料 SUB 绝缘体 锗 金属硅化物
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魏星
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:衬底 弛豫 超晶格 光刻胶 绝缘体上硅
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薛忠营
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:衬底 石墨烯 绝缘体 弛豫 键合
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武爱民
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅基 硅 波导 光子晶体 锗
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张苗
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 衬底 离子注入 弛豫
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林成鲁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
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王曦
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
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