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国家教育部博士点基金(20102302110010)
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相关作者:
金鹏
刘楠
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刘楠
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:反应离子刻蚀 硫醇 微光学元件 紫外 低收缩
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谭久彬
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:隔振器 精密测量仪器 转子 精密测量技术 隔振技术
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金鹏
供职机构:哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院超精密光电仪器工程研究所
研究主题:微加工技术 成像光谱仪 快照 医用 PDMS
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