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中央高校基本科研业务费专项资金(N100403006)
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刘坤
巴德纯
王光玉
杨乃恒
张振厚
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巴德纯
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院
研究主题:磁控溅射 真空 故障诊断 抽气 干泵
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刘坤
供职机构:辽宁科技大学
研究主题:数值模拟 干泵 氧枪 高真空 炉外精炼
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王光玉
供职机构:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
研究主题:真空泵 干式真空泵 轴封 泵用 轴承腔
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张振厚
供职机构:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
研究主题:真空泵 泵用 轴封 干式真空泵 罗茨
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张晓玲
供职机构:首都航天机械公司
研究主题:蛋白质分子 分子模拟 流控 离子 平行板
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肖松文
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院
研究主题:分子模拟 蛋白质分子 表面改性 压力驱动 分子
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杨乃恒
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院
研究主题:真空泵 抽气 分子泵 高真空 涡轮分子泵
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