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国家自然科学基金(608-77066)

作品数：2 被引量：6H指数：1
相关作者：翟雷应吴亚明徐静李四华钟少龙更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院研究生院更多>>
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领域

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地区

  • 5个上海市
共 5 条 记 录，以下是 1-5
徐静
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 微机电系统 光学电流传感器 加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴亚明
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
翟雷应
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS 微光机电系统 静电驱动 微机电系统 大尺寸
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李四华
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：驱动器 微机电系统 MEMS 苯并环丁烯 体硅工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钟少龙
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS 加速度传感器 键合 微机电系统 MEMS工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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