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国家自然科学基金(60377030)
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屈红昌
杨建义
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王明华
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吴亚明
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 微电子机械系统
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杨建义
供职机构:浙江大学
研究主题:波导 集成光学 光开关 多模干涉 玻璃基
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屈红昌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:光开关 光交换 N 集成光学 光纤光栅
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李广波
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:纳米 集成光学 键合 光子器件 玻璃基
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江晓清
供职机构:浙江大学信息与电子工程学系
研究主题:集成光学 光开关 多模干涉 光功分器 全内反射
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龙文华
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:键合 集成光学 二氧化硅 微结构 阵列波导光栅
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唐衍哲
供职机构:浙江大学信息与电子工程学系
研究主题:各向异性腐蚀 波导 波导器件 弯曲波导 阵列波导光栅
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贾科淼
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:阵列波导光栅 集成光学 键合 二氧化硅 集成波导
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
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王明华
供职机构:浙江大学
研究主题:集成光学 波导 多模干涉 离子交换 光开关
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