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中国航空科学基金(2013ZC53036)

作品数：2 被引量：4H指数：2
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地区

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共 9 条 记 录，以下是 1-9
李晓莹
供职机构：西北工业大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机械 微细加工 微变形镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
虞益挺
供职机构：西北工业大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机械 锚点 光纤
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曾琪
供职机构：西北工业大学
研究主题：非线性动力学 静电驱动 转角 扫描镜 以太网
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
乔大勇
供职机构：西北工业大学
研究主题：微机电系统 MEMS 扫描镜 微机械 锚点
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
练彬
供职机构：西北工业大学深圳研究院
研究主题：扫描镜 谐振频率 静电驱动 光学器件 绝缘体上硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏长锋
供职机构：西北工业大学
研究主题：扫描镜 MEMS 测量系统 性能参数 耗能
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴焱
供职机构：西北工业大学
研究主题：衍射效率 可调 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
潘春晖
供职机构：西北工业大学
研究主题：非线性动力学 静电驱动 转角 扫描镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨璇
供职机构：西北工业大学
研究主题：沟道 刻蚀 静电驱动 扫描镜 氧化层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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