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上海市自然科学基金(10ZR1436100)

作品数：3 被引量：2H指数：1
相关作者：张苗魏星薛忠营王曦林成鲁更多>>
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地区

  • 6个上海市
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共 7 条 记 录，以下是 1-7
魏星
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：衬底 弛豫 超晶格 光刻胶 绝缘体上硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
薛忠营
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：衬底 石墨烯 绝缘体 弛豫 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
武爱民
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅基 硅 波导 光子晶体 锗
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林成鲁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王曦
供职机构：清华大学
研究主题：衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张苗
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：石墨烯 绝缘体 衬底 离子注入 弛豫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张波
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：衬底材料 SUB 绝缘体 锗 金属硅化物
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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