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国家高技术研究发展计划(2002AA431150)
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黄军容
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黄军容
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:LIGA技术 PMMA 微细加工 微细电火花加工 电火花加工
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伊福廷
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:LIGA技术 光刻 LIGA 微细加工 光刻胶
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韩勇
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:LIGA技术 掩模 微细加工 LIGA BSRF
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彭良强
供职机构:中国科学院
研究主题:LIGA技术 微细加工 电火花加工 LIGA 微细电火花加工
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张菊芳
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:LIGA技术 微细加工 LIGA 掩模 X射线光刻
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蒋毅坚
供职机构:北京工业大学
研究主题:激光辐照 激光 SUB 陶瓷 籽晶
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