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国家自然科学基金(60676061)
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相关作者:
林小芹
罗乐
朱大鹏
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相关机构:
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发文基金:
国家自然科学基金
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林小芹
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:钛铝金属间化合物 过滤膜 真空烧结 SNAG 基板
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罗乐
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:圆片级 封装 子层 电镀 封装结构
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朱大鹏
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:薄膜电阻 方块电阻 反应溅射 铝阳极氧化 电阻温度系数
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