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国家自然科学基金(51275263)

作品数：3 被引量：6H指数：2
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领域

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机构

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资助

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地区

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何永勇
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 故障诊断 化学机械抛光 抛光液 旋转机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯超
供职机构：清华大学机械工程学院机械工程系
研究主题：熔模铸造 划痕 声发射 辨识技术 刚性梁
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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