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国家高技术研究发展计划(2013AA041101)

作品数：19 被引量：76H指数：5
相关作者：许高斌陈兴马渊明展明浩闵锐更多>>
相关机构：合肥工业大学中国兵器工业集团合肥科盛微电子科技有限公司更多>>
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相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术机械工程更多>>

领域

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机构

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地区

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  • 1个山西省
共 24 条 记 录，以下是 1-10
许高斌
供职机构：合肥工业大学
研究主题：多晶硅薄膜 多晶硅 MEMS 热导率 谐振式压力传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈兴
供职机构：合肥工业大学
研究主题：MEMS 谐振式压力传感器 多孔硅 传感器 MEMS加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马渊明
供职机构：合肥工业大学
研究主题：MEMS 谐振式压力传感器 多孔硅 光电探测器 过载
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
展明浩
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院
研究主题：ICP 工艺参数 刻蚀 ICP刻蚀 高深宽比
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闵锐
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省MEMS工程技术研究中心
研究主题：超声波 测距系统 测距算法 IIR数字滤波器 信号处理方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢翌
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院
研究主题：液位测量 汽车油箱 汽车 结构特点 微系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张胜兵
供职机构：合肥工业大学
研究主题：多孔硅 湿度传感器 单片集成 划片 钝化层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡芳菲
供职机构：合肥工业大学
研究主题：PIFA天线 RF_MEMS开关 多频段 多频 平面倒F天线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王文靖
供职机构：中国兵器工业集团
研究主题：ICP 感应耦合等离子体刻蚀 硅刻蚀 工艺参数 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李凌宇
供职机构：合肥工业大学
研究主题：纳米硅薄膜 传感器研究 SOI 压力传感器 微压
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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