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国家自然科学基金(10572035)

作品数:4 被引量:27H指数:1
相关作者:王友年戴忠玲毛明更多>>
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机构

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地区

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3 条 记 录,以下是 1-3
王友年
供职机构:大连理工大学
研究主题:等离子体 放电线圈 射频放电 鞘层 放电
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
毛明
供职机构:大连理工大学物理与光电工程学院三束材料改性教育部重点实验室
研究主题:感应耦合等离子体 刻蚀 物理基础 鞘层 电容耦合放电
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戴忠玲
供职机构:大连理工大学
研究主题:等离子体 鞘层 物理实验 刻蚀 物理基础
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共1页<1>
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