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国家自然科学基金(10572035)
作品数:
4
被引量:27
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相关作者:
王友年
戴忠玲
毛明
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大连理工大学
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国家自然科学基金
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王友年
供职机构:大连理工大学
研究主题:等离子体 放电线圈 射频放电 鞘层 放电
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毛明
供职机构:大连理工大学物理与光电工程学院三束材料改性教育部重点实验室
研究主题:感应耦合等离子体 刻蚀 物理基础 鞘层 电容耦合放电
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戴忠玲
供职机构:大连理工大学
研究主题:等离子体 鞘层 物理实验 刻蚀 物理基础
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