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国家重点基础研究发展计划(206CB3027-01)

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相关作者：毕津顺宋文斌韩郑生更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所更多>>
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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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