广东省科技计划工业攻关项目(2004A10403008)
- 作品数：8 被引量：121H指数：4
- 相关作者：吴黎明邓耀华王桂棠张力锴薛向东更多>>
- 相关机构：广东工业大学华南理工大学通用电子有限公司更多>>
- 发文基金：广东省科技计划工业攻关项目广州市科技攻关项目更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺自动化与计算机技术机械工程更多>>
- IC晶片关键尺寸标定的新方法研究被引量：4
- 2005年
- 提出了一种基于标准件法的二次标定法,实现了对微距尺寸的高速高精度测量。该方法经过实验测量数据的分析对比,表明比标准件法测量精度有明显提高,满足了IC晶片线宽测量的精度要求。
- 薛向东吴黎明邓耀华伍冯洁何仲凯
- 关键词：标准件空间矩亚像素
- 基于数字图像处理技术的金相组织定量分析被引量：18
- 2006年
- 论述了基于直方图均衡化方法和基于区域生长及数学形态学方法的金相组织数字图像处理技术,并通过对金相组织中初生相含量的分析结果,对两种方法进行了对比。直方图均衡化分割技术简易、运算速度快,但没有对杂质的区分能力,对各组织区域边缘相互渗透也没有区分能力,易造成分析误差。而区域生长及数学形态学技术可以应用于存在多种组织的金相图像,可以消除区域内的杂质,也可以消除区域间相互渗透的区域,实现较精确的分析,而且在实现区域分割的基础上可以对金相组织的形态进行自动分析。
- 王桂棠邓耀华吴黎明
- 关键词：金相分析数字图像处理直方图均衡化数学形态学
- 一种提高显微数控平台控制精度的细分驱动算法被引量：1
- 2010年
- 高精密显微数控工作台是IC晶片自动光学检测的核心部件之一,其运动精度直接影响光学检测设备的分辨力,工作台的运动速度和加速度会影响整个IC晶片检测的工作效率。首先给出了高精度工作台的机械设计和工作台嵌入式控制结构,然后针对工作台的驱动精度进行研究,深入分析了驱动电机细分控制中的正余弦细分控制方法,使用细分表查表算法进行计算,分析了查表法存在的不足方面,提出了多级细分控制算法,利用圆的多边形逼近算法动态计算细分电流值,保证了高次细分情况下电机线圈电流矢量的均匀性,使得微步距角的分配更均匀,有效的提高了工作台运动的平稳性和控制精度,为IC晶片的精密检测提供了可靠的保证。
- 邓耀华吴黎明张力锴陈景郁苏振锐
- 关键词：自适应细分嵌入式
- 有图形硅片显微图像微距线宽测量方法研究被引量：10
- 2006年
- 针对硅片关键尺寸高精度准确测量的要求,在整像素级标准件法二维图像微距尺寸测量的基础上,本文综合应用基于卡尺的标准件法和空间矩亚像素细分算法,提出了具有像素级高速度、亚像素级高精度线宽测量的两步标定法。通过给出一个焊盘样本的实际测量结果来分析对比,表明该方法测量精度有了明显地提高,可以用来进行有图形硅片关键尺寸的测量标定。
- 王桂棠薛向东吴黎明
- 关键词：标准件空间矩亚像素
- 基于机器视觉的晶粒度面积法自动评级被引量：2
- 2007年
- 根据国标中晶粒度的定义提出进行晶粒度测量自动评级方法,论述了该方法中应用计算机图像处理技术进行图像尺寸标定、二值化变换、消除噪声、提取晶界和计算晶粒个数,最终计算晶粒度评级参数等过程的算法及实现。提取单像素晶界可解决不同晶粒晶界共用计数难问题;利用链码计算晶粒个数可通过限制链长在计数的同时把第二相、杂质等去除。该评级方法可以避免晶粒度测量评级中人为因素的影响,速度快,精确性高。对于非均匀等轴晶的评级比其他方法如截线法、截圆法等具有更好的适用性。
- 林金萱王桂棠肖乐萍
- 关键词：晶粒度面积法机器视觉
- 骨架提取在IC晶片缺陷机器视觉识别中的研究被引量：6
- 2007年
- 光刻工艺导致的IC晶片制造中缺陷种类多样,丢失物和冗余物缺陷是影响成品率下降的重要原因,其主要造成电路开路和短路。提出一种基于骨架特征的IC晶片丢失物和冗余物缺陷短路故障机器视觉识别方法,应用细化算法抽取图像骨架,提供了使用多余点及多余端枝删除原则和数学形态学处理算法两种方法得到单像素的优化骨架,采用邻域跟踪法实现电路开路和短路形式识别。
- 李政广吴黎明赖南辉王立萍程伟涛
- 关键词：IC晶片机器视觉
- 基于FPGA的双DDS任意波发生器设计与杂散噪声抑制方法被引量：82
- 2009年
- 研究基于DDS(直接数字频率合成)的任意波信号产生的机理,在FPGA内嵌SOPC,配置了32位的软微处理器NiosII,利用FPGA实现双DDS的相位累加器,通过数字方法直接实现任意波形的各种频率调制。分析了高速相位累加器截断误差,幅度量化误差和D/A非线性引起的杂散分量产生的原因。推导出DDS相位噪声模型,针对信号的频谱成份设计了高阶低通滤波器对输出信号滤波。结合NiosII,设计硬件电路对输出信号进行幅频校正,保证了信号幅值的稳定输出及实际显示数值的一致性。测试表明,信号波形发生器能输出稳定、高带宽、高速度、高精度、低衰减的任意波形,三角波的输出频率大于1MHz,输出信号幅度峰峰值在50mV～20V范围内以10mV的步进调节。
- 邓耀华吴黎明张力锴李业华
- 关键词：SOPC相位截断高阶滤波器
- 基于像素分布特性的IC晶片视觉检测方法
- 2007年
- IC晶片制造过程存在多种致命缺陷,致使芯片失效,导致成品率下降。冗余物缺陷是影响IC晶片成品率下降的重要原因,主要造成电路短路错误。针对冗余物缺陷对版图的影响,提出了一种简单可行的缺陷视觉检测方法,以实现冗余物缺陷的识别及电路失效形式的确定。根据摄取的显微图像的图像特征,利用光线补偿技术及形态滤波方法消除干扰噪声,以提高图像质量,采用投影定理及基于像素分布特性的检测方法,实现电路短路形式或缺陷未导致电路失效的识别。
- 伍冯洁吴黎明
- 关键词：IC晶片机器视觉投影定理
