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上海市教育委员会创新基金(08YZ157)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：言智张朝民周细应宓一鸣季鑫更多>>
相关机构：上海工程技术大学更多>>
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相关领域：一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇力学性能
  • 1篇耐腐蚀
  • 1篇耐腐蚀性
  • 1篇耐腐蚀性能
  • 1篇腐蚀性
  • 1篇TAN
  • 1篇表面形貌
  • 1篇力学性

机构

  • 1篇上海工程技术...

作者

  • 1篇季鑫
  • 1篇宓一鸣
  • 1篇周细应
  • 1篇张朝民
  • 1篇言智

传媒

  • 1篇金属热处理

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
不同工艺对TaN薄膜组织与性能的影响被引量：2
2010年
用磁控溅射法在硅基材料上制备TaN薄膜,用原子力显微镜(AFM)和X射线衍射仪(XRD)研究不同工艺下磁控溅射TaN薄膜的表面形貌和组织,用纳米压痕仪和CHI电化学分析仪测试薄膜的力学性能和耐腐蚀性能。结果表明,基底加热和退火处理均导致TaN薄膜组织发生六方结构TaN(110)向面心立方结构TaN(111)和TaN(331)的转变。另外,基底加热和退火处理工艺均改善了TaN薄膜的显微硬度和膜基结合力等力学性能,其断裂韧性和耐腐蚀性能有所降低。
季鑫周细应宓一鸣言智张朝民
关键词：表面形貌力学性能耐腐蚀性能
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