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大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室基金(9140C0504010704)

作品数：1 被引量：4H指数：1
相关作者：白国栋李含雁冯进军更多>>
相关机构：中国电子科技集团公司第十二研究所更多>>
发文基金：大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇行波管
  • 1篇折叠波导
  • 1篇折叠波导慢波...
  • 1篇深反应离子刻...
  • 1篇微细
  • 1篇微细加工
  • 1篇离子刻蚀
  • 1篇慢波
  • 1篇慢波结构
  • 1篇刻蚀
  • 1篇反应离子
  • 1篇反应离子刻蚀
  • 1篇W波段

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇冯进军
  • 1篇李含雁
  • 1篇白国栋

传媒

  • 1篇中国电子科学...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
DRIE技术加工W波段行波管折叠波导慢波结构的研究被引量：4
2011年
简要介绍了利用深反应离子刻蚀制作折叠波导慢波结构的现状及制作的工艺流程。对深反应离子刻蚀掩膜制作即光刻工艺,以及折叠波导慢波结构的深刻加工进行了深入的研究。详细分析了各光刻工艺对光刻胶图形的影响,尤其是前烘对光刻胶图像侧壁垂直度的影响;在深反应离子刻蚀中,还详细分析了刻蚀时间、下电极功率以及刻蚀气体气压对刻蚀结果的影响。经参数优化后获得最佳工艺参数,并制作出带有电子注通道的W波段折叠波导慢波结构,慢波结构深为946μm,侧壁垂直度为91°,电子注通道深为225μm,侧壁垂直度为90°。
李含雁冯进军白国栋
关键词：折叠波导微细加工深反应离子刻蚀
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