国防科技技术预先研究基金(41308050102)
- 作品数：2 被引量：6H指数：1
- 相关作者：单光宝阮晓明耿增建姚军魏海龙更多>>
- 相关机构：西安微电子技术研究所更多>>
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- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 悬臂梁式硅微加速度计的研制被引量：5
- 2005年
- 介绍一种悬臂梁式硅微加速度计的结构与工作原理,并利用ANSYS软件进行了仿真模拟。采用体硅“无掩膜”腐蚀技术,对设计出的敏感芯片进行了工艺试制。通过合理的设计,使挠性梁腐蚀区域侧面上产生(311)面,通过控制所产生的(311)面对(111)面的侵削作用,获得了所需结构。为提高灵敏度和线性,该加速度计采用静电力反馈闭环控制方式,检测与处理电路采用高精度双极线性电路工艺进行了工艺流片。利用多芯片组装工艺进行了敏感芯片与一次集成的检测和处理电路的混合封装。经测试硅微加速度计性能为量程±50g,分辨率3×10–3g,非线性<5×10–4,质量为9.6g。
- 单光宝阮晓明姚军耿增建
- 关键词：电子技术MEMS硅微加速度计多芯片组装
- 硅微加速度计的建模与仿真被引量：1
- 2006年
- 根据物体相对运动理论,采用能量法表述了建立硅微加速度计功能组件模型的一般方法,并以Verlog-A为模型编码语言实现了硅微加速度计参数化组件模型。利用这些参数化的功能组件模型,在Saber仿真平台上构建了电容式微加速度计系统级模型,并进行了仿真。频域仿真结果表明系统的谐振频率相对于有限元模态分析结果,计算精度相差在3%以内;时域仿真结果表明使用该系统级模型能够快速进行复杂机电耦合系统时域行为分析,输出电压仿真结果与实测值相差在7.5%以内。
- 单光宝刘佑宝魏海龙
- 关键词：MEMS系统仿真加速度计
