国家教育部博士点基金(20070288010)
- 作品数：5 被引量：27H指数：3
- 相关作者：陈磊贺俊夏江涛肖韶荣武旭华更多>>
- 相关机构：南京理工大学中国兵器工业集团南京信息工程大学更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金兵器预研支撑基金江苏省“六大人才高峰”高层次人才项目更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信一般工业技术理学更多>>
- 使用红外干涉仪测量红外材料折射率被引量：3
- 2010年
- 使用自行研制的泰曼型红外干涉仪测量红外材料的折射率.在干涉仪的测试臂中加一个旋转台,将被测件放在旋转台上旋转,在旋转过程中经过被测件的光程发生改变,导致干涉条纹发生移动,通过测量条纹的移动数和被测件的旋转角度来计算出被测件的折射率.测量结果显示,25°C时在10.6μm波段处锗单晶的折射率为4.003,硫系玻璃锗砷硒(GeAsSe)的折射率为2.494.折射率测量的误差在10-3量级,增加被测件的厚度会进一步提高折射率的测量准确度,待测红外材料的折射率越低,测量准确度越高.
- 贺俊陈磊王青
- 关键词：折射率红外材料
- 大口径移相干涉仪的几个关键技术
- 以研制的国内首台φ300mm斐索立式移相干涉仪为研究对象,研究以压电陶瓷实现移相为代表的大口径干涉仪所包含的技术难点,主要包括大口径平晶的支撑技术与绝对校准、动态波面测试、大口径波面测试技术、移相器在线测试等几大关键技术...
- 武旭华张闯赵静陈磊
- 文献传递
- 干涉仪标准面非旋转对称误差的消除被引量：3
- 2010年
- 提出了一种测量干涉仪参考镜非旋转对称面形误差的方法。测量波面用36项Zemike多项式来表示，利用Zemike多项式形式的旋转不变性，求解出参考面非旋转对称误差的Zernike多项式系数。测得了Zygo干涉仪参考镜不同装夹应力下的非旋转对称面形误差分布。比对了该方法和N次相对旋转测量法对同一参考面的测量结果，符合较好。分析了测量误差。该方法仅需两次测量，可有效消除干涉仪标准面低频非旋转对称面形误差。
- 徐晨陈磊乌兰图雅
- 关键词：计量学旋转不变性
- 液面基准法标定干涉仪系统误差被引量：4
- 2010年
- 为消除干涉仪标准参考面的误差,保证其测量准确度,本文采用液面基准法建立光学平面基准对仪器的系统误差进行标定.首先建立弯曲静液面动力学方程从理论上分析润湿效应对液面平面度的影响,并结合实验分析气流、温度、震动等环境因素对液面稳定性的影响,讨论波面稳定性评价指标,给予实验验证.最后用建立的大液面基准对干涉仪系统误差进行标定,给出标定结果.
- 武旭华夏江涛肖韶荣陈磊
- 关键词：干涉仪
- 相位拼接闭合条纹干涉图处理技术
- 2011年
- 二维傅里叶变换法处理闭合条纹干涉图时,解调的相位含有符号突变。为矫正符号偏差,提出一种算法,通过一对正交的半侧低通滤波器得到4个含有符号突变的相位面,将其中符号正确的部分进行拼接以得到正确的相位分布。该方法计算量小,并且能有效避开符号突变位置的相位失真区域;选择了合适的滤波窗,并对干涉条纹圆心附近区域的相位进行单独低通滤波处理,使计算精度进一步提高。在算法的仿真实验中,处理了球差、像散、彗差3组典型的仿真干涉图,解调精度可优于λ/50;对实际干涉图进行了分析处理,并与Zygo移相干涉仪测试结果进行了比对,结果吻合较好。
- 李博陈磊边疆王军
- 关键词：相位恢复光学测量傅里叶变换
- 使用红外干涉仪测量非球面面形被引量：18
- 2010年
- 提出用红外干涉仪在长波工作(λ=10.6μm)的优点检测非球面面形。首先,通过移相算法,使用泰曼型红外干涉仪测量出非球面与标准拟合球面之间的波像差;然后,根据非球面的矢高方程计算出非球面与标准拟合球面之间波像差的理论值,通过比较这两个值,计算出非球面的面形偏差。实验结果表明,使用红外干涉仪测量的非球面与标准拟合球面之间的波像差为8.64μm(PV),与理论波像差(8.11μm)比较接近,测得非球面面形偏差为1.20μm(PV)。为了验证这一方法的准确性,使用计算全息图(CGH)作为补偿镜在可见光干涉仪上测量了同一块非球面,两者测量结果比较吻合。结果表明,此方法有比较强的通用性,可以用于非球面在加工过程中的测试。
- 贺俊陈磊
- 关键词：光学测量非球面波像差
- In-line Calibration of Phase Shifters for Interferometer Measurement
- In phase-shifting metrology,the accuracy of phase measurement is directly affected by the phaseshifting error,...
- XuHua Wu~1 and Lei CHEN~2 and Shaorong XIAO~1 and YingChun Li~2 College of Electronic & Information Engineering
- 关键词：CALIBRATIONDLS
