国家高技术研究发展计划(2002AA404290)
- 作品数：3 被引量：12H指数：3
- 相关作者：叶雄英周兆英李勇范瑞丽陈旭鹏更多>>
- 相关机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术理学更多>>
- 微小型高压力流体电磁控制阀被引量：5
- 2003年
- 用于航空航天领域微流量控制系统中的微小型阀 ,需要具有耐高压、低泄漏、高频响和高控制精度等综合性能。本文提出了一种可控高压力微流体的常闭微小型阀的设计方案用于满足该系统需要 ,其特点在于采用以较小的致动力控制较高的流体压力的结构原理 ,并以弹性材料薄膜作为阀芯的支承结构件同时作为密封件。该阀由其本体结构和外置致动器两部分构成 ,其本体结构的设计在制作工艺上适合进一步的微小型化 ,外置致动器的设计具有较大灵活性。初步研制了采用电磁致动的小型常闭阀样机既可控气体又可控液体的特性。实验测试其工作压力范围为 0～5atm ,阀的驱动响应时间小于 5ms,流量控制分辨率达到 9μL/ pulse 。
- 范瑞丽李勇陈旭鹏叶雄英周兆英
- 关键词：电磁控制阀工作性能流体压力
- 压电驱动膜片式微型气泵被引量：4
- 2005年
- 提出一种结构新颖的压电驱动膜片式微型气泵,对其输出流量、膜片的振幅等参数进行了理论分析,在此基础上设计、制作了微型气泵样机,并进行了测试实验。这种气泵在结构上充分利用了双压电梁端部位移大的优点,并利用两根双压电梁将膜片悬起,增加了容积变化率和输出流量,并具有结构简单,功耗低,厚度小,无电磁噪音,可靠性高等优点,在微型电子器件的冷却、微型燃料电池换气等方面显示出良好的应用前景。根据实验,微型气泵的一阶固有频率约为120 H z,在谐振状态下,当驱动电压为50 V时,其输出流量为192 mL/m in,功耗小于23 mW。
- 杨兴周兆英叶雄英李楠赵慧贞罗小兵
- 关键词：压电陶瓷微流体
- 无移动部件微泵的设计、制造及基于微PIV技术的流动测量被引量：3
- 2005年
- 基于简化微泵加工难度、延长寿命及特殊管道流体特性原理,设计了一种无移动部件微泵.通过数值计算对设计微泵进行优化.用特殊材料PDMS及微机械加工工艺制造出微泵.用微PIV粒子成像技术测量了微泵流场特性及流量.可实现在工作频率600～2000Hz下,微泵流量为0.01～0.1μL/8.
- 王飞王健何枫
- 关键词：微泵PDMS
