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福建省科技攻关计划(2003H86)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：张玉龙叶嘉明周勇亮张维更多>>
相关机构：厦门大学更多>>
发文基金：福建省科技攻关计划更多>>
相关领域：理学电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 2篇微流控
  • 2篇微流控芯片
  • 2篇激光
  • 2篇激光加工
  • 2篇激光直写
  • 2篇CO2
  • 2篇CO2激光

机构

  • 2篇厦门大学

作者

  • 2篇张维
  • 2篇周勇亮
  • 2篇叶嘉明
  • 2篇张玉龙

传媒

  • 1篇中国机械工程
  • 1篇中国微米、纳...

年份

  • 2篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
CO2激光直写加工PMMA微流控芯片
提出使用CO2激光器进行PMMA微流控芯片加工的方法。研究了激光功率,频率,扫描速度等参数及加工程序对芯片加工质量的影响。使用热压法进行芯片键合。考察了键合过程交叉沟道局部封闭的原因并提出工艺的改进。采用三雏显微戍像系统...
叶嘉明张维张玉龙周勇亮
关键词：微流控芯片激光加工CO2激光
文献传递
CO2激光直写加工PMMA微流控芯片被引量：2
2005年
提出使用CO2激光器进行PMMA微流控芯片加工的方法.研究了激光功率,频率,扫描速度等参数及加工程序对芯片加工质量的影响.使用热压法进行芯片键合.考察了键合过程交叉沟道局部封闭的原因并提出工艺的改进.采用三维显微成像系统和配置CCD的金相显微镜对PMMA芯片的微沟道及其横截面进行了表征.该方法快速简单,设备成本和操作成本低廉,尤其适于科研机构进行芯片的前期开发.
叶嘉明张维张玉龙周勇亮
关键词：微流控芯片激光加工CO2激光
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