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国家教育部博士点基金(20060335104)

作品数：1 被引量：0H指数：0
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电学性能
  • 1篇先驱体
  • 1篇膜结晶
  • 1篇FE

机构

  • 1篇浙江大学
  • 1篇浙江理工大学

作者

  • 1篇刘艳辉
  • 1篇陈旭波
  • 1篇汪洋

传媒

  • 1篇浙江大学学报...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
先驱体Fe膜结晶程度对FeS2薄膜组织和性能的影响
2008年
利用不同温度基底溅射沉积Fe膜并硫化合成FeS2薄膜的方法，研究了先驱体Fe膜结晶程度对FeS2薄膜组织结构和电学性能的影响．结果表明，较高的基底温度能够产生较大尺寸的Fe膜晶粒，400℃硫化反应可使不同结晶程度的Fe转变为晶粒细小的FeS2．随先驱体Fe膜基底温度升高，合成后的Fe＆膜体几何连续程度提高，载流子浓度下降及Hall迁移率上升．制备先驱Fe膜基底温度为300-400℃时的FeS2薄膜电阻率出现极大值．Fe膜基底温度变化改变了先驱体结晶程度，导致了FeS2薄膜中晶体缺陷行为及相变应力作用程度的变化，进而导致了FeS2薄膜电学性能的变化．
陈旭波刘艳辉汪洋孟亮
关键词：先驱体电学性能
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