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国家大学生创新性实验计划(200715)

作品数：1 被引量：1H指数：1
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇溅射
  • 1篇溅射法
  • 1篇溅射法制备
  • 1篇光致
  • 1篇光致发光
  • 1篇发光
  • 1篇PL
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇西北大学

作者

  • 1篇江洪湖
  • 1篇姚合宝
  • 1篇李倩
  • 1篇郑新亮
  • 1篇肖锋伟

传媒

  • 1篇西北大学学报...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
磁控溅射法制备氮掺杂的氧化锌薄膜被引量：1
2009年
目的比较氮掺杂的氧化锌薄膜与纯氧化锌薄膜的发光特性。方法用射频磁控溅射法,在玻璃衬底上通过控制氩气,氧气,氮气的流量,制备了纯氧化锌薄膜和氮掺杂的氧化锌薄膜样品。结果通过比较纯氧化锌薄膜样品和氮掺杂的氧化锌薄膜样品的发光谱,在466 nm(2.6 eV)附近发现了一个发光峰;氮掺杂的氧化锌薄膜样品的带隙比纯氧化锌薄膜样品的带隙宽。结论氮掺杂的氧化锌薄膜在466 nm左右的发光峰与氮有关;带隙变宽的原因:一个是样品中的晶粒小引起的量子限制效应,另一个是压应力引起的氧化锌晶格中的氧原子的2p轨道和锌原子的4s轨道之间斥力增大。
肖锋伟郑新亮江洪湖李倩姚合宝
关键词：磁控溅射
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