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天津市科技发展战略研究计划项目(06YFGPGX08000)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：何青陶科赵飞张德贤蔡宏琨更多>>
相关机构：南开大学更多>>
发文基金：天津市科技发展战略研究计划项目国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇射线衍射
  • 1篇微晶硅
  • 1篇微晶硅薄膜
  • 1篇晶粒
  • 1篇晶粒尺寸
  • 1篇硅薄膜
  • 1篇RF-PEC...
  • 1篇XRD
  • 1篇X射线衍射
  • 1篇X射线衍射研...
  • 1篇尺寸

机构

  • 1篇南开大学

作者

  • 1篇孙云
  • 1篇席强
  • 1篇蔡宏琨
  • 1篇张德贤
  • 1篇赵飞
  • 1篇陶科
  • 1篇何青

传媒

  • 1篇人工晶体学报

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
RF-PECVD制备微晶硅薄膜的X射线衍射研究被引量：3
2007年
采用X射线衍射(XRD)技术连续扫描法和薄膜衍射法对RF-PECVD制备的微晶硅薄膜结构进行了研究。改变硅烷浓度和反应功率,控制薄膜的生长速率,已达到制备不同材料的目的。根据硅基薄膜的电学特性和XRD测试,随着反应功率的增加,硅基薄膜的生长速率不断提高,微晶硅薄膜的晶化程度不断增大。
蔡宏琨张德贤何青赵飞陶科席强孙云
关键词：晶粒尺寸
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共1页<1>
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