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清华大学基础研究基金资助(JC2003060)

作品数:5 被引量:17H指数:3
相关作者:曾雪锋吴建刚刘理天岳瑞峰康明更多>>
相关机构:清华大学更多>>
发文基金:清华大学基础研究基金资助国家自然科学基金更多>>
相关领域:理学机械工程更多>>

文献类型

  • 5篇中文期刊文章

领域

  • 3篇理学
  • 2篇机械工程

主题

  • 3篇介质上电润湿
  • 1篇疏水
  • 1篇疏水性
  • 1篇水层
  • 1篇水性
  • 1篇芯片实验室
  • 1篇接触角
  • 1篇TEFLON

机构

  • 5篇清华大学

作者

  • 5篇岳瑞峰
  • 5篇刘理天
  • 5篇吴建刚
  • 5篇曾雪锋
  • 3篇康明
  • 2篇董良
  • 1篇胡欢

传媒

  • 2篇仪器仪表学报
  • 2篇电子器件
  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2007
  • 2篇2006
  • 2篇2004
5 条 记 录,以下是 1-5
排序方式:
基于介质上电润湿的液滴产生器的研究被引量:4
2007年
根据介质上电润湿的基本原理,对用于数字微流控系统的“三明治”结构器件中影响液滴输运和产生的因素进行了理论分析,并研制出了一种新型液滴产生器原型:液体被夹在上下两个电极板之间;下极板采用硅作为衬底、LPCVD掺杂多晶硅微电极阵列上热氧化生长的的SiO2薄膜作为介质层;上极板采用ITO透明导电玻璃板作为地电极;另外,在上下极板的表面都均匀旋转涂覆了一层30nm厚的Teflon薄膜为表面疏水层.实验结果表明,在空气气氛中,该器件在10Hz70V的脉冲电压下成功地实现了从蓄水池中对去离子水滴的分发.
岳瑞峰吴建刚曾雪锋康明刘理天
关键词:介质上电润湿芯片实验室
介质上电润湿现象的研究被引量:10
2004年
介绍了介质上电润湿的基本原理,分析了介质层材料的介电常数对接触角变化的影响,并提出了优化介质薄膜厚度的方法,为介质上电润湿的进一步应用提供了理论基础。
曾雪锋董良吴建刚岳瑞峰刘理天
关键词:介质上电润湿接触角
一种新型厌水性碳氟聚合物薄膜的制备被引量:1
2004年
利用ICP-CVD工艺制备出一种新型厌水性碳氟聚合物薄膜,并给出了制备薄膜的工艺参数。通过观测该薄膜的表面形貌和它与去离子水之间的接触角,结果表明,该薄膜均匀致密。
曾雪锋岳瑞峰吴建刚胡欢董良刘理天
关键词:TEFLON
基于介质上电润湿的数字微流控器件的模拟被引量:5
2006年
根据介质上电润湿的基本理论,利用计算流体动力学软件CFD-ACE+,成功模拟出了典型的“三明治“结构数字微流控器件中水滴输运、产生、分离和合并的全过程。模拟结果显示,上下极板间距和液滴输运速度之间呈线性关系;并且,当极板间距大于200μm时,液滴分离容易失败。模拟结果与已有的实验结果符合的非常好。
岳瑞峰曾雪锋吴建刚康明刘理天
关键词:介质上电润湿
ICP-CVD制备高质量疏水性碳氟聚合物薄膜的研究被引量:1
2006年
在室温下以c-C4F8为反应气体,采用电感耦合等离子体化学气相淀积(ICP-CVD)法制备出碳氟聚合物薄膜,研究了工艺条件与薄膜的光、电性能和结构与疏水性的相关性。结果表明,薄膜结构均匀致密,主要由C-CFX、CF、CF2和CF3组成;当射频功率为400 W,c-C4F8的流量为40 sccm时,制备出的薄膜和去离子水之间的接触角高达112°。
岳瑞峰曾雪锋吴建刚康明刘理天
关键词:疏水性
共1页<1>
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