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“上海-应用材料研究与发展”基金(065A04)
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
相关作者:
冯飞
王跃林
熊斌
杨广立
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相关机构:
中国科学院
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发文基金:
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“上海-应用材料研究与发展”基金
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杨广立
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熊斌
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王跃林
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冯飞
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半导体光电
年份
1篇
2007
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一种非致冷光读出红外成像阵列器件的设计
被引量:2
2007年
提出了一种具有“双材料梁-微镜一体化”特征结构的光读出红外成像阵列器件。该特征结构集成了红外敏感、调制和输出读出可见光信号的双重功能。通过研究相关性能,完成了像素单元尺寸的优化设计。理论计算表明,其关键性能指标的热-机械灵敏度和噪声等效温差分别为2.14×10-3rad/K和2.94 mK。
杨广立
冯飞
熊斌
王跃林
关键词:
噪声等效温差
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