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国家杰出青年科学基金(50425207)
作品数:
2
被引量:3
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相关作者:
李言荣
陶伯万
秦文峰
段珂瑜
王小平
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相关机构:
电子科技大学
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相关领域:
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脉冲激光沉积...
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机构
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作者
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李言荣
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段珂瑜
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张鹰
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秦文峰
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罗文博
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朱俊
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陶伯万
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王小平
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年份
1篇
2007
1篇
2006
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Bi_4Ti_3O_(12)层状铁电薄膜的结构与性能研究
被引量:1
2007年
采用脉冲激光沉积法(pulsed laser deposi-tion,PLD),通过改变气氛氧压、衬底温度等工艺参数,在商业化的Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上制备了Bi4Ti3O12(BIT)系列薄膜。利用X射线衍射(XRD)表征了薄膜的结构特征;并采用RT2000进行铁电性能参数的测量,以此研究了工艺参数对薄膜结构和铁电性能的影响规律。分析结果表明,调整工艺参数能有效改善BIT薄膜的a轴取向度:气氛氧压越大、衬底温度越高,则薄膜的a轴取向度越高,剩余极化值也就越大。通过上述试验结果得到,在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上制备BIT薄膜的优化条件为氧分压35Pa、衬底温度700℃。在此优化条件下制备的BIT薄膜为a轴择优取向,剩余极化值达到7μC/cm2。
王小平
朱俊
罗文博
张鹰
李言荣
关键词:
BIT
BST/LSCO异质结构的研究
被引量:2
2006年
利用脉冲激光沉积法在STO(001)基片上外延生长了La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)导电氧化物薄膜,研究了基片温度对LSCO薄膜结构和电性能的影响,并制备了Ni-Cr/BST/LSCO多层膜结构。XRD谱发现,沉积温度在450-700℃均能得到高度(001)取向的LSCO薄膜,LSCO(002)峰的半高峰宽FWHM=0.1°~0.2°;在LSCO薄膜上制备的BST介质膜具有良好的c轴取向和较高的表面平整度,其εr约为470,tgδ为0.036-0.060。
段珂瑜
秦文峰
陶伯万
李言荣
关键词:
无机非金属材料
脉冲激光沉积法
BST
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